CIM系统之RTD系统--介绍与APS分析

半导体行业中，实时调度系统（RTD）的应用场景非常关键，因为它们可以显著提高生产效率、优化资源分配，并减少生产成本。以下是一些具体的应用场景，以及综合市面上国内外厂商RTD功能的模块描述：

01、RTD应用场景：

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1. **生产调度优化**：在半导体制造中，RTD系统可以实时调度生产线，确保生产任务按时完成。

2. **设备维护调度**：预测性地安排设备维护，减少意外停机时间。

3. **物料搬运优化**：自动化物料搬运系统（AMHS）与RTD集成，优化搬运路径，减少搬运时间。

4. **质量管理**：与SPC系统集成，实时监控产品质量，快速响应质量问题。

5. **产能规划**：根据市场需求和生产能力，动态调整生产计划。

6. **能源管理**：优化能源使用，减少能耗，特别是在刻蚀、沉积等能耗高的工艺步骤。

7. **紧急响应**：在设备故障或生产事故时，快速重新调度生产任务。

8. **供应链协调**：与供应链管理系统集成，优化物料供应和产品交付。