电能质量监测装置在半导体公司“大放异彩”

摘 要：半导体生产制造业在国民经济中起着举足轻重的作用，相关企业的规模也越来越大。其供配电系统稳定、可靠的运维不仅是其安全生产的基本保证，还关系到产品质量和生产的顺利进行。而半导体行业中大部分工艺设备对电能质量比较敏感，电压暂降、谐波等电能质量问题会导致设备损坏、生产材料报废等产生较大的经济损失。因此，需要对半导体行业装设电能质量监测装置来监测供电的电能质量。

关键词：半导体；电能质量；电压暂降；谐波 

       1 项目概况

       在国家政策的引导下，电子行业发展迅速，同时新建了大量电子行业工厂。工厂用电量大且大部分工艺需要不间断运行，配电系统结构复杂，设备一旦意外断电会导致重大损失，这就需要对供电可靠性要求非常高，对故障比较敏感；大部分工艺设备对电压、电流比较敏感，电压电流的变化会导致设备损坏、生产材料报废等问题；并且工厂电压等级比较多，出于供电可靠性要求和工艺设备需要电压等级不同，工厂配电电压从110kV到66kV、35kV、10kV、0.48kV、0.4kV不等，涉及的各电压等级变压器数量非常多。针对以上情况，需要配置电能质量监测装置来监测用电电能质量情况，为后续改善电能质量提供依据。  

       某半导体有限公司成立于2018年05月29日，注册地位于四川省成都高新区。经营范围包括OLED等平板显示屏材料、电子材料及其相关产品的研发、测试、生产、销售、技术服务、技术咨询及其售后服务；提供分拨、保税仓储（不含危险化学品）、保税加工服务；国际贸易、转口贸易、保税区企业间贸易以及区内贸易代理；电子产品及其零部件、相关化工原料（不含危险化学品）的进出口、批发、佣金代理（拍卖除外）及相关配套业务（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。

       2 项目需求

       本次项目为某半导体有限公司10/0.4KV用户变电站项目，该变电站供电系统为单母线供电系统，共设一面高压进线柜、一面计量柜、一面母线PT柜和四面专变出线柜。由于该公司主要生产电子材料、芯片等半导体设备，而半导体芯片制造生产中主要存在以下电能质量问题：

       1、谐波问题

       IC测试台、PLC控制的机械手、