<?xml version="1.0" encoding="utf-8" ?><rss version="2.0"><channel><title><![CDATA[hlkn123的博客]]></title><description><![CDATA[]]></description><link>https://blog.csdn.net/hlkn123</link><language>zh-cn</language><generator>https://blog.csdn.net/</generator><copyright><![CDATA[Copyright &copy; hlkn123]]></copyright><item><title><![CDATA[光刻胶剥离工艺]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124732789</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124732789</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Thu, 12 May 2022 15:43:35 +0800</pubDate><description><![CDATA[引言

虽然通过蚀刻的结构化是通过(例如抗蚀剂)掩模对衬底的全表面涂层进行部分腐蚀来完成的，但是在剥离过程中，材料仅沉积在不受抗蚀剂掩模保护的位置。本文章描述了获得合适的抗蚀剂掩模的要求、涂层方面的问题，以及最终去除其沉积材料的抗蚀剂掩模。

基本原理



图1显示了过程se-中的基本差异

通过蚀刻构造薄膜时的顺序(左栏-umn)和提升关闭(右栏)。对于蚀刻工艺，光致抗蚀剂处理是在先前施加的涂层上进行的，而在剥离工艺中，涂层被施加到现有的涂层上光刻胶结构。随后的实际剥离去除了抗蚀剂结构和沉积的材料同时通]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[GaAs 的湿法蚀刻和光刻]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124690738</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124690738</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Tue, 10 May 2022 16:02:24 +0800</pubDate><description><![CDATA[引言

本次在补救InGaP/GaAs NPN HBT的喷雾湿法化学腐蚀过程中光刻胶粘附失效的几个实验的结果。确定了可能影响粘附力的几个因素，并使用实验设计(DOE)方法来研究所选因素的影响和相互作用。确定最显著的粘附性改进是在光致抗蚀剂涂覆之前立即结合了天然氧化物蚀刻。除了改善粘附性，这种预涂处理还改变了GaAs，使得与未经表面处理的晶片相比，反应限制蚀刻更加各向同性；轮廓都具有正锥度方向，但锥角不相同。改变后的剖面使我们能够使用5200的蒸发金属，不经平面化，生产出具有5×5 m发射极的完全可探测的HB]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[用于先进封装技术的Si蚀刻]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124667203</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124667203</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Mon, 09 May 2022 15:22:53 +0800</pubDate><description><![CDATA[在本文中讲述了HARSE的工艺条件，其产生超过3微米/分钟的蚀刻速率和控制良好的、高度各向异性的蚀刻轮廓，还将成为展示先进封装技术的潜在应用示例。

在用作阳极硅衬底的 “光学工作台”示意图中显示，混合技术集成和封装使用第二光刻步骤，可以在硅中蚀刻出相对于激光器的精确深度和位置的沟槽，以便被动对准光纤，此外可以蚀刻晶片通孔，用作正面控制和/或驱动电路的光学或电学互连。



图1

图1展示了其中的几个概念，其中一张扫描电镜照片显示了同时蚀刻到约250微米深度的硅特征，在图1a中，中心正方形或器件定位器”可]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[KOH硅湿法蚀刻]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124666915</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124666915</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Mon, 09 May 2022 15:22:12 +0800</pubDate><description><![CDATA[引言

氢氧化钾(KOH)是一种用于各向异性湿法蚀刻技术的碱金属氢氧化物，是用于硅晶片微加工最常用的硅蚀刻化学物质之一。各向异性蚀刻优先侵蚀衬底。也就是说，它们在某些方向上的蚀刻速度比在其他方向上的蚀刻速度快，而各向同性蚀刻(如HF)会向所有方向侵蚀。使用KOH工艺是因为其在制造中的可重复性和均匀性，同时保持了较低的生产成本。异丙醇(IPA)经常添加到溶液中，以改变从{110}壁到{100}壁的选择性，并提高表面光滑度。

氧化物和氮化物在KOH中都蚀刻缓慢。氧化物可以在KOH蚀刻浴中用作短时间的蚀刻掩模。]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[PVA刷擦洗对CMP后清洗过程的影响]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124632673</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124632673</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Sat, 07 May 2022 15:52:25 +0800</pubDate><description><![CDATA[介绍

聚乙烯醇刷洗是化学溶液清洗过程中常用的方法。聚乙烯醇刷擦洗可分为两大类，根据其接触类型(非接触，完全接触)。全接触擦洗被认为是去除晶片表面污染物的最佳有效清洁方法之一。然而，许多研究人员指责全接触擦洗导致了晶片表面的划痕，并建议应避免全接触。非接触式去除力较弱，但不会产生划痕。如果在非接触模式下，去除力可以通过流体动力阻力的最大化来克服与清洗液的附着力，那么非接触模式擦洗将是最佳的清洗方法。为了通过刷子和晶片之间的小间隙使流体动力阻力最大化，压电传感器安装在晶片上以检测由接触产生的信号。为了研究磨料]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[臭氧化去离子水去除最终抛光晶片上的颗粒]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124632651</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124632651</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Sat, 07 May 2022 15:51:52 +0800</pubDate><description><![CDATA[摘要

本研究开发了一种低拥有成本的臭氧去离子水清洗工艺。室温下40 ppm的臭氧浓度用于去除有机蜡膜和颗粒。仅经过商业脱蜡处理后，仍残留有厚度超过200的蜡残留物。由于臭氧的扩散限制反应，代替脱蜡器的DIO3处理在8000的厚蜡层上显示出低去除率。脱蜡器与DIO3漂洗相结合，以减少蜡去除时间并完全去除蜡残留物。用DIO3漂洗代替去离子漂洗导致表面接触角小于5°，这表明不需要进一步的清洗步骤。通过将SC-1清洗步骤与DIO3漂洗过程相结合，进一步提高了颗粒去除效率。通过在脱蜡过程中引入DIO3清洗，缩短了处]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[硅和石英玻璃的低温晶片直接键合方法]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124632636</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124632636</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Sat, 07 May 2022 15:51:18 +0800</pubDate><description><![CDATA[摘要

本文展示了一种通过两步湿化学表面清洗来结合硅和石英玻璃晶片的简易结合工艺。在200℃后退火后，获得没有缺陷或微裂纹的强结合界面。在详细的表面和结合界面表征的基础上，对结合机理进行了探索和讨论。终止于清洁表面上的氨基可能有助于退火过程中结合强度的提高。这种具有成本效益的键合工艺对于硅基和玻璃基异质集成具有巨大的潜力，而不需要真空系统。

实验结果和讨论

图1(a)。在裂纹打开方法中，剃刀刀片几乎不能插入到结合的晶片之间。由于后退火后的大的结合强度(&gt; 2.0J=m2)，在结合的晶片的边缘上出现]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[化学机械抛光后刷洗的理论分析]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124632615</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124632615</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Sat, 07 May 2022 15:50:48 +0800</pubDate><description><![CDATA[摘要

化学机械平面化后的叶片清洗，特别是刷子擦洗，是半导体器件制造的一个关键步骤，尚未得到充分了解。临界粒子雷诺数方法用于评估在刷擦洗过程中去除晶圆表面的粘附颗粒，或者是否必须发生刷-粒子接触。考虑了直径为0.1和1.0m的氧化铝颗粒粘附在抛光二氧化硅和铜表面的模型系统。结果表明，流体力学力量可以去除部分粘附颗粒，但必须发生刷状颗粒接触才能去除所有的粘附颗粒。

理论

粘附/移除模型：在得出任何关于粒子去除的结论之前，有必要了解在水动力流场中作用于粒子的力。图1显示了一个直径为d的可变形颗粒，它粘附在运]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[TMAH溶液进行化学蚀刻后晶体平面的表征]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124592856</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124592856</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Thu, 05 May 2022 17:04:19 +0800</pubDate><description><![CDATA[本文提出了一种将垂直氮化镓鳍式场效应晶体管中的鳍式沟道设计成直而光滑的沟道侧壁的新技术。因此，详细描述了在TMAH溶液中的氮化镓湿法蚀刻；我们发现m-GaN平面比包括a-GaN平面在内的其他取向的晶面具有更低的表面粗糙度。还研究了沟道底部的沟槽和斜面(长方体)，搅动长方体的去除或晶面刻蚀速率的提高。最后，研究了有无紫外光照射下，紫外光对三甲基氯化铵中m和a-GaN晶面刻蚀速率的影响。因此，发现用紫外光将m-GaN平面蚀刻速率从0.69纳米/分钟提高到1.09纳米/分钟；在a-GaN平面蚀刻的情况下，紫外光将]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[半导体湿法中臭氧溶液去除有机/无机污染]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124592827</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124592827</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Thu, 05 May 2022 17:03:37 +0800</pubDate><description><![CDATA[本研究利用臭氧去离子水（DIO3）开发了拥有低成本的新型清洗工艺(氧化亚钴），臭氧浓度为40ppm，用于去除有机蜡膜和颗粒，仅经过商业除蜡处理后，蜡渣仍超过200A。

DIO3代替脱蜡剂在8000a左右对蜡有较多的去除率。

将脱蜡器与dio3结合，以减少脱蜡时间和SC-1步骤，DIO3冲洗后的蜡厚度小于50A，而去离子水冲洗后的膜厚度大于200A。用DIO3冲洗代替DI冲洗后，接触角较低，表面完全亲水。用DIO3处理过的表面的光学图像显示了更薄的蜡层，这表明不需要进一步的清洗步骤。将SC-1清洗步骤与D]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[晶圆高效干燥的方法]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124592786</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124592786</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Thu, 05 May 2022 17:02:55 +0800</pubDate><description><![CDATA[传统湿法清洗工艺在新一代半导体制作中具有根本的局限性，而湿法清洗后利用超临界二氧化碳的干燥法是克服这一局限性的替代方法，考察了超临界干燥法作为中间置换溶剂对IPA的二氧化碳溶解度。

首先为了比较，采用超临界二氧化碳的干燥方法与传统湿法干燥方法，将IPA中的蚀刻试样之一置于自然状态，另一试样在40℃、140bar条件下超临界二氧化碳， 4分钟后用SEM观测，并观察了IPA的stiction程度，其长宽比增长率为2.5，最大长宽比为37.5的示例，长宽比15后均可见下支撑体粘附现象，但是用超临界二氧化碳，可以]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[今日半导体工艺课堂]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124497317</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124497317</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Fri, 29 Apr 2022 15:36:55 +0800</pubDate><description><![CDATA[]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[半导体制造行业晶圆干燥工艺的应用研究]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124496678</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124496678</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Fri, 29 Apr 2022 15:14:20 +0800</pubDate><description><![CDATA[利用异丙醇(IPA)和氮载气开发创新了一种晶片干燥系统，取代了传统的非环保晶片干燥系统。研究b了IPA浓度是运行该系统的最重要因素，为了防止IPA和热量蒸发造成的经济损失，将干燥器上部封闭，以期开发出IPA和热能不流失的干燥工艺。

随着半导体元件的高集成化，线宽变窄，但这种方式由于干燥器上部是开放式的，无法避免在干燥工艺中IPA大量蒸发而造成经济损失，由于IPA泄漏到干燥器上部，气味导致工作环境的恶化，判断为非环保工艺, 此外，由于干燥器上部开放，空气进入干燥器内部自由。这种环境友好的工艺不仅可以降低IP]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[使用激光可调湿蚀刻曲面实现无间隙微透镜阵列的通用]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124496641</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124496641</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Fri, 29 Apr 2022 15:13:10 +0800</pubDate><description><![CDATA[引言

近年来，飞秒激光直写技术已经成为制造任意纳米精度三维微结构的热门工具。飞秒激光诱导双光子聚合(TPP)允许在聚合物中形成微透镜或更复杂的3D微结构。然而，这种逐点过程受到低效率的限制。只有微结构或纳米壳的表层通过直接激光写入进行光聚合，内部通过紫外光固化，制造效率显著提高。

我们提出了一种在二氧化硅玻璃上快速制作大面积凹面微透镜结构的新方法，该方法可用作在聚合物上复制多层膜的成型模板。我们的方法不同于经典的fs激光直写过程。它包括毫秒级的原位激光曝光和氢氟酸湿法腐蚀工艺。聚焦的飞秒激光脉冲触发了一]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[PVA刷擦洗对CMP后清洗过程的影响]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124455402</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124455402</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Wed, 27 Apr 2022 17:02:27 +0800</pubDate><description><![CDATA[介绍

聚乙烯醇刷洗是化学溶液清洗过程中常用的方法。聚乙烯醇刷擦洗可分为两大类，根据其接触类型(非接触，完全接触)。全接触擦洗被认为是去除晶片表面污染物的最佳有效清洁方法之一。然而，许多研究人员指责全接触擦洗导致了晶片表面的划痕，并建议应避免全接触。非接触式去除力较弱，但不会产生划痕。如果在非接触模式下，去除力可以通过流体动力阻力的最大化来克服与清洗液的附着力，那么非接触模式擦洗将是最佳的清洗方法。为了通过刷子和晶片之间的小间隙使流体动力阻力最大化，压电传感器安装在晶片上以检测由接触产生的信号。为了研究磨料]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[臭氧化去离子水去除最终抛光晶片上的颗粒]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124455358</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124455358</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Wed, 27 Apr 2022 17:01:16 +0800</pubDate><description><![CDATA[摘要

本研究开发了一种低拥有成本的臭氧去离子水清洗工艺。室温下40 ppm的臭氧浓度用于去除有机蜡膜和颗粒。仅经过商业脱蜡处理后，仍残留有厚度超过200的蜡残留物。由于臭氧的扩散限制反应，代替脱蜡器的DIO3处理在8000的厚蜡层上显示出低去除率。脱蜡器与DIO3漂洗相结合，以减少蜡去除时间并完全去除蜡残留物。用DIO3漂洗代替去离子漂洗导致表面接触角小于5°，这表明不需要进一步的清洗步骤。通过将SC-1清洗步骤与DIO3漂洗过程相结合，进一步提高了颗粒去除效率。通过在脱蜡过程中引入DIO3清洗，缩短了处]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[多孔GaN的结构和光学特性]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124455291</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124455291</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Wed, 27 Apr 2022 17:00:46 +0800</pubDate><description><![CDATA[摘要

本文报道了铂辅助化学化学蚀刻制备的多孔氮化镓的结构和光学性能。扫描电镜图像显示，孔隙的密度随着蚀刻时间的增加而增加，而蚀刻时间对孔隙的大小和形状没有显著影响。原子力显微镜测量结果表明，表面粗糙度随着蚀刻时间的延长而增加；然而，由于蚀刻时间较长，表面粗糙度的增加变得不显著。拉曼光谱结果表明，在一些多孔样品中，没有两种禁止模式，即A1(TO)和E1(TO)。光传输测量表明，孔隙密度的增加会导致光传输的减少。研究表明，氮化镓的结构和光学性能可能受到孔隙率的影响。

实验结果和讨论

图1显示了不同蚀刻时.]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[化学机械抛光后刷洗的理论分析]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124455263</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124455263</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Wed, 27 Apr 2022 16:58:22 +0800</pubDate><description><![CDATA[摘要

化学机械平面化后的叶片清洗，特别是刷子擦洗，是半导体器件制造的一个关键步骤，尚未得到充分了解。临界粒子雷诺数方法用于评估在刷擦洗过程中去除晶圆表面的粘附颗粒，或者是否必须发生刷-粒子接触。考虑了直径为0.1和1.0m的氧化铝颗粒粘附在抛光二氧化硅和铜表面的模型系统。结果表明，流体力学力量可以去除部分粘附颗粒，但必须发生刷状颗粒接触才能去除所有的粘附颗粒。

理论

粘附/移除模型：在得出任何关于粒子去除的结论之前，有必要了解在水动力流场中作用于粒子的力。图1显示了一个直径为d的可变形颗粒，它粘附在运]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[KOH、TMAH 和 EDP 对硅表面的影响]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124426588</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124426588</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Tue, 26 Apr 2022 14:10:40 +0800</pubDate><description><![CDATA[本文研究了氢氧化钾、TMAH（C6H4(OH)2)溶液中氢氧化铵（四甲基铵）和EDP(乙烯二胺(NH2(CH2)2NH2)的浓度和温度对硅表面的影响，制作了光滑的垂直墙和悬吊梳式结构。

在蚀刻研究中，在1100C下热生长1lm二氧化硅掩蔽层，然后通过常规光刻和氧化物图案蚀刻对氧化物层形成图案,对于垂直的侧壁，掩模图案应平行于方向对齐,在将样品浸入蚀刻溶液中之前，在缓冲的高频溶液中去除天然氧化物，然后在去离子(DI)水中冲洗,为了更好地晶片区域的均匀性，我们将样品水平保存在蚀刻溶液中。

将氢氧化钾薄片溶解]]></description><category></category></item><item><title><![CDATA[通过表面分析评估 Cu-CMP 工艺]]></title><link>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124426578</link><guid>https://blog.csdn.net/hlkn123/article/details/124426578</guid><author>hlkn123</author><pubDate>Tue, 26 Apr 2022 14:10:13 +0800</pubDate><description><![CDATA[引言

半导体装置为了达成附加值高的系统LSI，需要高集成化，高速化，这其中新的布线材料，绝缘膜是不可缺少的。其中，具有低电阻的Cu，作为布线材料受到关注。化学机械抛光（CMP）和之后的清洗是Cu布线形成中不可缺少的过程，CMP中使用的浆料、清洗液的性能在很大程度上左右了布线的形成。

在本文中对进行了CMP和后清洗的晶圆表面进行分析表面分析的Cu―CMP工程的评价。

Cu-CMP工序

Cu布线是通过双镶嵌法形成的。双镶嵌法是在一次性制作布线沟和布线孔之后，通过电镀法等嵌入Cu的方法。后清洗液必须除去用]]></description><category></category></item></channel></rss>