半导体设备工厂自动化软件技术方案

半导体设备工厂自动化软件技术方案

一、技术架构设计

采用分层架构实现高内聚低耦合：

1. 物理层：通过OPC UA采集传感器数据（温度/压力/电压/电流）
2. 驱动层：实现SEMI E30/E40标准指令集
3. 业务层：配方管理引擎、报警引擎（符合SEMI E5标准）
4. 服务层：数据持久化、消息总线
5. 表现层：WPF MVVM架构界面

依赖框架：

• .NET 6+
• OPC UA Core .NET Standard
• WPF MVVM Toolkit
• Entity Framework Core

二、软件分层实现

// 驱动层示例（SEMI E30指令处理）
public class SecsGemHandler : ISecsGem
{
    public void SendRecipe(SEMIRecipe recipe)
    {
        // 使用SEMI E30标准二进制协议封装
        byte[] payload = Serialize(recipe);
        _communication.Send(payload);
    }
}

// MVVM层数据绑定示例
public class ProcessDataVM : INotifyPropertyChanged
{
    private double _temperature;
    public double Temperature
    {
        get => _temperature;
        set => SetField(ref _temperature, value);
    }
    
    // 报警状态绑定
    public ICollection<Alarm> ActiveAlarms => _alarmService.GetActive();
}

三、通信驱动设计

1. 实时数据通道：

   // OPC UA数据订阅
   var subscription = _session.Subscribe(
       new SubscriptionRequest { PublishingInterval = 100 });
   subscription.DataReceived += (s, e) => {
       Dispatcher.Invoke(() => UpdateUI(e.Data));
   };
   

2. 指令下发机制：

   sequenceDiagram
       UI->>+CommandService: 发送配方指令
       CommandService->>+SecsGem: 封装E30报文
       SecsGem->>+Device: TCP传输
   

四、UI界面关键技术

1. 动态数据可视化：

   <!-- 实时曲线 -->
   <lvc:CartesianChart Series="{Binding TemperatureSeries}">
       <lvc:CartesianChart.AxisX>
           <lvc:DateTimeAxis LabelFormatter="{Binding TimeFormatter}"/>
       </lvc:CartesianChart.AxisX>
   </lvc:CartesianChart>
   

2. 报警矩阵：

   public class AlarmMatrix : DataGrid
   {
       protected override void OnRender(DrawingContext dc)
       {
           // 按SEMI E5标准颜色编码
           foreach(var alarm in ActiveAlarms)
               DrawAlarmCell(dc, alarm);
       }
   }
   

五、性能优化策略

1. 数据采样：采用环形缓冲池 $$ \text{BufferSize} = \frac{\text{SampleRate} \times \text{RetentionTime}}{8} $$
2. UI更新：使用DispatcherTimer限制刷新率

   _updateTimer = new DispatcherTimer {
       Interval = TimeSpan.FromMilliseconds(100) 
   };
   

六、学习曲线建议

1. 基础阶段（1-2周）：
   • WPF数据绑定与INotifyPropertyChanged
   • OPC UA基础订阅模型
2. 进阶阶段（2-4周）：
   • SEMI E30/E40协议解析
   • 分布式事件总线实现
3. 优化阶段（持续）：
   • 内存映射文件加速数据存取
   • 异步通信管道优化

七、完整架构示例

graph TD
    A[WPF UI层] --> B[ViewModel]
    B --> C[业务服务层]
    C --> D[通信抽象层]
    D --> E[OPC UA驱动]
    D --> F[SECS/GEM驱动]
    C --> G[报警引擎]
    C --> H[配方引擎]
    H --> I[SQLite存储]

关键指标：

• 数据延迟：<100ms（1kHz采样）
• 指令响应：<50ms
• 界面刷新：10Hz

该架构通过分层解耦满足SEMI标准要求，采用异步通信和内存优化保障性能，MVVM模式确保UI灵活可扩展。