半导体标准协议 E94 ControlJob学习

所以GEM300标准也随之而来。
在这只是记录一下自己的理解，防止忘记。

1. 用户需求

为了应对制造过程中的复杂性，设备必须能够协调其加工服务已满足工厂需求。
CJ提供了工厂所需的协调服务，CJ满足的要求包括：
1.设备协调相关工作方法，例如与载体相关的所有加工任务；
2.设备再加工后通知材料目的地的方法。CJ不属于任何特定的加工任务类型。不负责处理资源和特定的处理材料的协调。
3.CJ已排队。对于支持CJ作业的设备，PJ不排队，而是汇集起来等待由各自的CJ定排。CJ指定PJ的顺序。设备在资源可用按照顺序运行。

2. 供应商要求

工艺材料管理：
供应商需要实施一种操作模式，以符合工厂的期望来管理材料和加工。例如：设备必须能够识别何时完成与载体的连接，以便允许或通知工厂移除载体。该标准提供这一要求机制。虽然该模型暗示了实施过程，但标准仅要求外部事件。

使用CJ会限制某些SEMI E40 PJ功能。特别是，设备的PJ队列管理功能将被CJ中定义的作业顺序所取代。

CJ与PJ之间的关系因设备类型而异。设备供应商应记录这种关系。通常情况下，终止或停止一个PJ不会影响CJ的执行。设备应根据PJ的结束方式正确处理材料。对于那些CJ与PJ之间始终存在一对一关系的设备类型，自动终止或停止过程作业可能会更加方便。同样地，如果一个CJ涉及多个PJ，那么自动终止或停止所有相关的PJ可能会更加方便

3. CJ属性

Name	解释	必要条件	访问	类型
ObjID	主机定义的控制作业标识符	Y	只读	Text
ObjType	对象类型	Y	只读	Text=“ControlJob”
CurrentPRJob	保留任何当前正在运行的PJ的标识符，即使作业处于暂停状态	Y	只读	(list of) PRJobID (see SEMI E40)
DataCollectionPlan	用于在执行控制作业期间使用的数据收集计划的标识符	N	读写	Text
CarrierInputSpec	ControlJob将使用的材料的carrierID列表。允许为空列表	Y	读写	(list of) CarrierID
MtrlOutSpec	处理后，将物料从源位置移动到目标位置。对于 单 载 波 操 作 ， 该 列 表 应 为 空 。 如 果CarrierInputSpec是一个空列表，则该列表也应为空	Y	读写	List of Structure: SourceMap DestinationMap
MtrlOutByStatus	列表结构，根据材料状态映射将被处理的材料放置的位置或承运商	N	读写	List of Structure: Destination MaterialStatus
PauseEvent	控制作业应暂停的事件列表标识符	N	读写	(list of) EventID
ProcessingCtrlSpec	一 个 结 构 列 表 ， 定 义 了 PJ 以 及 在 该CJ中运行的每个作业的规则	Y	读写	(list of) Structure: PRJobID ControlRule OutputRule
ProcessOrderMgmt	定义启动PJ的顺序方法	Y	读写	Enumeration: LIST ARRIVAL OPTIMIZE
StartMethod	一个逻辑标志，用于确定ControlJob是否可以自动启动。用户可通过主机连接或操作员控制台启动	Y	只读	Boolean: TRUE – Auto FALSE – UserStart
State	CJ的当前状态	Y	只读	Enumerated: per State Model

CJ中由许多属性是复合数据类型。数据组成在下表定义：

数据标识符	描述	类型
CarrierID	料盒ID	Text
ControlRule	提供其他作业控制功能。它取决于设备类型。它可用于根据处理结果修改处理。对于不支持此属性的设备，不需要使用此属性。供应商应在支持此属性时记录其使用情况	(list of) Structure: RuleName RuleValue
Destination	放置材料的目标位置	Text
DestinationMap	描述成品材料将被放置的载体位置。如果载体位置列表为空，则按照源的顺序进行排列	Structure: CarrierID List of SubstrateLocation
MaterialStatus	ControlJob处理将此值分配给成品物料。通过将“物料状态”与“目的地”关联，ControlJob处理可将物料放置到所需的目的地	Equipment dependent enumeration
OutputRule	根据流程作业的结果定义物料状态（如“良好”、“拒收”、“中止”、“监控”等）。	Equipment dependent
PRJobID	PJ ID	See SEMI E40.
Rule Value	设备用于执行控制规则的值	Equipment dependent
RuleName	控制规则标识符	Text
SourceMap	描述用于处理的材料的来源位置。如果位置列表为空，则假定默认顺序为升序。	Structure: CarrierID List of SubstrateLocation
SubstrateLocation	基板在源和目标位置上的位置。载体是多位置目标的一个示例。对于晶圆载体，基板位置是插槽号	numeric

ControlRule: 对于支持此属性（字段）的设备，主机会设置此属性以现更好的主机处理控制能力。例如，主机可能已经测量了待处理材料的特性。根据产品和工艺步骤使用标准配方，但基于测量的特性，配方的应用会受到指定规则和传递给规则的值（RuleValue）的影响。然而，ControlRule的使
用不应仅限于这种类型的应用。

DataCollectionPlan： 数据收集计划是主机为特定控制任务分配的一个名称，用于关联数据收集活动。通常，它提供了一种方式，使设备能够通知并协调主机，以接收数据收集请求。数据收集计划是一个通用概念，适用于多种控制任务。设备在响应主机请求时，会报告一个名为“数据收集计划”的变量，该变量本身对设备没有实际意义。通常情况下，主机在接收到ControlJob START事件后，会将DataCollectionPlan作为要报告的数据变量。这样，主机就能确定设置各种跟踪报告和设备事件报告的合适时机。所
有指定相同产品类型和工艺能力的任务都可以使用相同的DataCollectionPlan。

OutputRule： 只有具备某种方法来确定其已处理材料状态的设备才支持此属性。对于具有这种能力通常以名称值对的形式呈现。名称代表材料状态，值则对应于这些状态类别（如良好、拒收、返工等）的测量阈值。设备应记录基板（材料）状态的变化，并在基板历史中进行记录。
同样支持MtrlOutbyStatus的设备应使用OutputRule 确 定 的 状 态 ， 将 基 板 放 置 在 与MaterialStatus相关联的目标位置。

4. CJ状态模型

状态定义：
QUEUED：ControlJob在创建或取消选择后被排队。新创建的ControlJob被放置在队列尾部
SELECTED：在此状态下，ControlJob不会启动其指定的流程作业，因此可以修改基于配方变量参数预定义的流程条件。在选定状态下，处理资源
被ControlJob保留（不用于其他任何作业）。如果ControlJob所需的材料尚未到达设备，ControlJob将保持此状态，直到材料到达。如果ControlJob或
其第一个流程作业不需要材料，此状态将立即结束。如果指定的材料未到达，选定的ControlJob可以取消选择
WAITING FOR START：ControlJob正在等待从主机手动或远程接收启动命令。只有当StartMethod设置为FALSE（UserStart）且材料已到达时，ControlJob才会转换到此状态
EXECUTING：在此状态下，ProcessingCtrlSpec中的 每 个 处 理 作 业 将 根 据 ControlJob 的ProcessOrderMgmt属性值按顺序启动，当所需资源可用且作业材料已验证后。如果已启动但处于WAITINGFORSTART或PAUSED状态的处理作业，将阻止其所需资源的可用性（参见SEMI E40)。
注 ： 如 果 进 程 作 业 已 阻 塞 可 用 资 源 ， 则 会 导 致
ControlJob停止启动使用这些资源的后续进程作业
PAUSED：当ControlJob被暂停时，它将不会启动任何更多的Process作业。在此状态下，未进入“处理”状态的Process作业可以被修改。还可以修改ControlJob的各种属性。这是设备特定的，并且应由设备供应商记录。
COMPLETED：控制作业在所有进程作业都已完成、停止或中止后，将进入此状态。在此状态下，控制作业可以响应对其属性值的请求

CJ状态转换表：

序号	之前状态	触发条件	新状态	动作	说明
1	no state	接收到远程创建CJ指令	QUEUED	创建CJ并将它放在CJ队列的尾部	如果队列已满，则创建请求将被拒绝
2	QUEUED	接收“Cancel”, “Abort”,or “Stop”指令	no state	退出队列并终止作业 。 向 主 机 发 送“ControlJob Canceled”事件	如果队列中取消的控制作业后面还有其他等待的控制作业，则这些作业将被向前移动，以填补取消的控 制 作 业 出 队 之 后 的 空缺
3	QUEUED	处理资源具有开始处理下一个CJ的能力	SELECTED	选择队列中的作业并出队。向主机发送“SELECTED“事件	这时候料盒不一定在设备上
4	SELECTED	接收“De-select”指令，且用于CJ的材料尚未到达	QUEUED	未选中的作业移动到作业队列的头部，而原本位于头部的作业则成为SELECTED 作业	如果队列首部作业的资源不 可 用 ， 则 将 拒 绝 该 命令 。 请 参 阅 “ 队 列 模型”。
5	SELECTED	第一个工艺作业的材料到达，或者在第一个（或唯一）工艺作业不需要材料的情况下，应尽快进行该处理资源的转换	EXECUTING	发送“Executionbegan” 事件到主机	只有在验证了载体的标识符和基板插槽映射后，才会启动与载体相关的处理作业。可以启动不使用材料的处理作业（验证CarrierID和Slot Map)
6	SELECTED	StartMethod属性设置为用户启动	WAITING FORSTART	发送”JobWaiting for Start”事件
7	WAITING FORSTART	收到启动命令	EXECUTING	与5相同	与5相同
8	EXECUTING	收到“Pause”消息	PAUSED	发送“PAUSED ”事件	在此状态下可以修改尚未开始的任务作业
9	PAUSED	收到“Resume”消息	EXECUTING	启动PJ，发送“Resumed”事件
10	EXECUTING	CJ内所有PJ已完成	COMPLETED	发送“COMPLETED”事件	可能包括后处理完成
11	ACTIVE	收到“CJStop”消息，表明已停止所有工艺作业和物料加工	COMPLETED	发送“CJStop”事件
12	ACTIVE	收到“CJAbort”消息	COMPLETED	发送“CJAbort”事件
13	COMPLETED	删除CJ	no state		设备应执行此功能对于已完成的工作，在它们已持续至少一天之后

一个批次作业的控制作业
将单个Carrier作为一个批次进行处理。此示例演示了在简单情况下使用控制作业的简便性。晶圆顺序保持不变，将晶圆材料退回到源载体。

#	解释	Dir	消息	CJ状态	PJ状态
1	创建PJ	H->E	PRJobCreateEnh(PRJobID=prj01_04, Mtrl=CS001,RecID=ILD3)	No state	No state
2		H<-E	PRJobCreateAck(PRJobID,PRJobStatus)		In POOL
3	请求CJ,材料 输出规格保持 从源载流器 到目标载流器 的硅片顺序	H->E	ControlJobCreate (CtrlJobID=cjf01_01, ProcessingCtrlSpec=(prj01_04,null,null), MtrlOutSpec=(CS001,null,null), MaterialIn=CS001, StartMethod=AUTO)
4	接收请求	H<-E	ControlJobCreateAck (CtrlJobID=cjf01_01,JobStattus)	QUEUED
5	如果没有CJ是 SELECTED 状态，因此新创建的CJ 状态立即变换	H<-E	事件 (CJSELECTED, CtrlJobID=cjf01_01)	SELECTED
6	CJ指定的 Carrier到达LP	H<-E	事件 (CARRIERIDREAD, CID=CS001)
7	设备识别并开始执行CJ	H<-E	事件(ControlJobStart,cjf01_01)	EXECUTING
8	CJ启动PJ，开始 将晶圆装载到腔体中	H<-E	事件(PRJOBSETUP,prj01_04)		ACTIVE SETUP
9	晶圆加工开始 在晶圆放入腔体后	H<-E	事件 (PRJOBPROCESSING,prj01_04)		ACTIVE PROCESSING
10	设备开始将晶圆 返回到原载体(目标载体)	H<-E	事件 (PROCESSINGCOMPLETE, PRJob=prj01_04)		ACTIVE PROCESSING COMPLETE
11	Carrier装满晶圆	H<-E	事件(CarrierComplete=CS001)
12	Host想要拿走Carrier	H->E	Rcommand(CarrierOut=CS001)
13	可以从设备上拿走Carrier	H<-E	事件(ReadtoUnload,CarrierID=CS001,PortID)
14		H<-E	事件(PRJOBCOMPLETE,PRJob=prj01_04)		No state
15	作业可以在Carrier拿走之前完成	H<-E	事件(ControlJobCompleted=cjf01_01,status=OK)	COMPLETE

后面再慢慢更新