本文介绍了XPS测试数据处理的步骤，包括使用XPSpeak 4.1软件将数据转换为txt格式，导入数据，建立基线，分峰，手动修正以及保存和导出拟合数据。在分峰过程中，遵循特定的强度比、能级分裂距离和半峰宽一致性规则，确保拟合结果准确。
1第一步：将数据转换为txt格式
具体操作：将荷电校正过之后的数据拷贝到一个新建的txt文件中。
关键点：第一行要直接以数据开始，最后一行以数据结束，不能有空行或其他文字，否则将无法导入XPSpeak 4.1软件中。
2第二步：利用XPS peak软件导入txt文件
3第三步：建立基线
具体操作：点击菜单中Background,在弹出来的窗口中High BE和Low BE的数据是自动读取的，不需要改变Background type一般选取Shirley,基线的优化主要靠Shirley+Linear的Slope来实现，可以手动输入数值，然后点击accept就可以看到基线了，如果觉得基线不是特别好，可以通过改变Slope的值进行调整。
4第四步：加峰<
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