聚焦光斑直径d的理论计算_微知识 | 如何计算聚焦光斑直径与能流密度？

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聚焦光斑直径的计算

超快激光加工过程中，聚焦光斑的直径会对加工精度有明显的影响，因此我们需要了解加工光斑直径的大小。我们采用的飞秒激光脉冲能量呈高斯分布，而聚焦后的光斑半径需要通过高斯光束的透镜变换公式计算得到。

让我们先看下图，图1为高斯光束透镜变换示意图，其中 w0 为入射激光光束的束腰半径(束腰是指高斯分布的光光斑直径最小的位置。在束腰的位置，激光的能量密度最大，距离束腰位置不同的距离，激光的能量密度都不相同)，l 为入射激光束腰到透镜的距离，w 为入射激光光束聚焦后焦点处的束腰半径，l′ 为焦点到透镜的距离，聚焦透镜的焦距为 f 。

图1 高斯光束透镜变化示意图

一般来说，w0、l、f 三个参数可以测量后得到，聚焦后焦点位置以及焦点处束腰半径可以通过高斯光束透镜变换公式得到：

计算得出聚焦后焦点处的束腰半径 w 后，根据方程可推算出距离焦平面z处的光斑半径。