过程中存根的作用有_固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用

１ 引 言

蓝宝石单晶因其优越的物理、光学性能，被广泛应用于发光二极管(ＬＥＤ)衬底材料和固态激光发光介质，并逐步成为下一代手机面板的首选，目前已在ｉＰｈｏｎｅ手机上试产。蓝宝石的普遍应用对它的超光滑无损伤表面加工提出了更高要求，但蓝宝石单晶因硬度高、化学性能稳定，属于典型的难加工材料。

目前，对于单晶蓝宝石的加工需采用切片、倒角、研磨、抛光等多道工序完成，其中研磨加工是工件获得良好平面度、保证抛光质量和效率的关键工序，也是专家学者研究的热点。单晶蓝宝石的研磨一般利 用 逐 级 减 小 研 磨 液 中 Ｂ４Ｃ 磨 料的粒径，控制研磨的进给量，来获得较好的表面粗糙度。由于研磨过程中，硬度较大的磨料在工件和研磨盘之间滚轧，容易造成较大的表面损伤层，增加了抛光时间；另外研磨液中磨料利用率低、耗费大、还污染环境。目前，固结磨料由于可依靠凸起的磨粒实现材料的微量切除而成为了高效低损伤 加 工 的 有 效 手 段。Ｌｉａｎｇ等采 用超 声 辅助的金刚石树脂砂轮对单晶蓝宝石进行磨削，获得了０．４～０．６μｍ的 表 面 粗 糙 度。Ｋｉｍ 等使用固结的金刚石研磨垫并在研磨液中加入氧化铝磨料双面研磨蓝宝石工件，利用氧化铝磨粒对研磨垫的修整 实 现 了１μｍ／ｍｉｎ的材料去除速率。固结磨料加工中，研磨抛光液的化学作用也不容忽视。Ｔｉａｎ等利用固结磨料抛光硅衬底，比较了不同抛光液对材料去除率和表面质量的影响，发现抛光液组份和ｐＨ 值的改变对抛光效果具有较大影响，从而推断抛光液与工件表面具有一定的化学作用。居 志 兰 等研究了固结磨料抛光水晶中，抛光液中的化学物质可以软化水晶玻璃表面表层，从而有利于材料去除速率的提高。但由于蓝宝石的高化学稳定性，蓝宝石晶片研磨过程中的研磨液的化学作用尚未见报道。

本文采用自制的金刚石固结磨料研磨垫对蓝宝石晶片进行研磨实验，通过改变研磨液的成份，探究研磨 液 在 固 结 磨 料 研 磨 蓝 宝 石 晶 体 中 的 作用，并借助光电子能谱仪 ＸＰＳ分析研磨液对蓝宝石表面的化学作用，探索固结磨料研磨蓝宝石晶体的材料去除机理，为加工工艺的优化提供了理论指导。

２ 实验部分

２．１ 固结磨料研磨垫制备

固结磨料研磨垫利用高聚合物的树脂材料作黏接剂，把一定粒径的金刚石磨料通过加热引发固化剂，加热固化而成。通过改变磨料粒径的大小可以调节研磨垫的应用。在磨料中加入了适量的细铜粉，可以提高研磨垫硬度，改善工件面型精度。固结磨料研磨垫制备流程如图１所示，研磨垫可分为磨料层和基体层，磨料层表面有凸起结构，凸起之间留有沟槽，便于研磨液的流动和研磨碎屑的排出。基体层不含磨料，具有一定的弹性，方便研磨垫与研磨盘的黏接，有利于研磨过程中研磨垫刚度的调节。

图１ 固结磨料研磨垫制备流程图

２．２ 实验设计

样品为直径５０．８ｍｍ，厚度０．５ｍｍ 的蓝宝石晶体的(０００１)晶面，研磨加工实验在智能型纳米 级 抛 光 机 (Ｎａｎｏｐｏｌｉ－１００)上 进 行，实 验 采 用Ｗ１４镀镍金 刚 石 制 作 的 固 结 磨 料 研 磨 垫。为 了保证研磨条件的一致性，研磨加工前先用 Ｗ７５的研磨垫粗磨１０ｍｉｎ，粗研加工参数如表１所示。

为了探索研磨液组份对固结磨料研磨蓝宝石的影响，选用有利于研磨垫自修整性能提高的常见碱性物质，并通过改变其含量，探索不同研磨液在相同研磨条件研磨蓝宝石单晶的差异。研磨液具体组份如表２所示。

２．３ 表面粗糙度Ｒａ 和去除速率(ＭＲＲ)的测量

研磨加工完成后，使用江南 ＸＪＸ－２００型正置双 目 金 相 显 微 镜 观 察 工 件 表 面 形 貌。 采 用ＮａｎｏＭａｐ５００ＬＳ测量工件表面粗糙度Ｒａ，扫描长度为１５００μｍ，扫描速度为１００μｍ／ｓ，采样频率为６０ｐｔｓ／ｓ。 工 件 的 初 始 厚 度 由 上 海 力 易 得ＥＮＤＵＲＡ 数显千分尺 Ｅ０５７１(分辨率０．０１ｍｍ)测得，工 件加工前后的质量由德国赛多利斯(ＳＡＲＴＯＲＩＵＳ)ＢＳ２２４Ｓ(２２０ｇ／０．１ ｍｇ)精 密 天平计量，材料去除速率为：

其中：Ｍ０ 和 Ｍ 分别为工件加工前后的质量，单位ｇ；ｈ为工件加 工 前 的 初 始 厚 度，单 位 ｍｍ；ｔ为 研磨时间，单位 ｍｉｎ。

２．４ ＸＰＳ分析

为了测试蓝宝石工件研磨后的表面化学组份，采 用 美 国 Ｔｈｅｒｍｏ 公 司 ＸＰＳ(ＥＳＣＡＬＡＢ２５０Ｘｉ)分别对 Ａ，Ｃ，Ｅ，Ｇ４种不同的研磨液浸泡后的研磨工件和未经浸泡的干态研磨工件进行能谱对比分析，测试工件表面的元素组份和结合能，推断元素的价态和存在方式。测试设置条件：以ＡｌＫａ为 激 发 源 (ｈｖ＝１４８６．６ｅＶ)；发 射 功 率２００ Ｗ；真 空 度 优 于 １．０×１０－８ Ｐａ；以 污 染 碳Ｃ１ｓ＝２８５．０ｅＶ 作为元素结合能的参考内标。

３ 结果与讨论

３．１ 材料去除速率

蓝宝石单晶在不同研磨液作用下的材料去除率如图２所示。在其它工艺条件相同的情况下，仅含有去离子 水 的 研 磨 液 Ａ 对 应 的 材 料 去 除 速率最小，为１４９．８ｎｍ／ｍｉｎ，含有其 它 化 学 组 份 的研磨液材 料 去 除 速 率 明 显 高 于 去 离 子 水 研 磨 液Ａ，去除速率 最 高 的 为 含 有 ２％ 乙 二 醇 的 研 磨 液Ｃ，为２２４．１ｎｍ／ｍｉｎ。而 含有 相 同 化 学 组 份，不同浓度的研磨液在研磨加工过程中的材料去除速率变化 不 大，如 Ｂ 和 Ｃ、Ｄ 和 Ｅ、Ｆ 和 Ｇ 之 间 的差别。

图２ 不同研磨液作用下的材料去除速率

单晶蓝宝石工件在水中具有一定的水解作用，表面会生成相应的软化层，有利于材料的去除。含有乙二醇、乙二胺和三乙醇 胺 的 研 磨液在研磨加工中对蓝宝石的水解作用更强，从而获得了高于研磨液为去离子水的材料去除率。乙二醇是增塑剂和表面活性剂的主要成分，在研磨加工过程中，增加了蓝宝石工件表面的活性，使蓝宝石工件表面的 Ａｌ元素更易于同溶液中的 ＯＨ－根离子结合，生成硬度较小的氢氧化合物，从而有利于提高材料去除率。当研磨液中含有三乙醇胺时，因三乙醇胺易与固结磨料研磨垫中表层的铜粉起络合反应，增强了研磨垫的自修整性能，使更多颗粒的金刚石与工件接触，一定程度上促进了研磨加工材料的去除。当研磨液中含有乙二胺的组份时，因乙二胺密度比水小，少量的乙二胺易于空气中的 ＣＯ２ 生成不挥发的碳酸盐，沉积于抛光液容器的底部，大部分的乙二胺溶于水生成水合乙二胺。乙二胺的加入增加了溶液中的 ＯＨ－ 根离子，有利于蓝宝石工件表面氢氧化铝的生成，但氢氧化铝在有机弱碱中的稳定性也一定程度上减小了蓝宝石工件表层化学反应的速度。从图２可以看出，在蓝宝石研磨加工过程中，含有不同组份的研磨液在加工过程中对材料去除率的提升强弱依次是：乙二醇＞三乙醇胺＞乙二胺＞去离子水。同时，含有相同组份不同浓度的研磨液材料去除率差别不明显，这是由于碱性物质的增加，有利于蓝宝石表面软化层的生成，提高了加工效率；同时也加大了溶液对研磨垫表面铜粉的腐蚀，使金刚石颗粒因把持力减小而脱落，影响金刚石的出露高度，导致去除率下降，两方面综合作用的结果致使材料去除率变化不大。

３．２ 工件表面质量

图３所示为经不同研磨液加工后蓝宝石工件表面粗 糙 度 数 值，Ｒａ 为５０．７～７６．２ｎｍ，其 中经去离子水研磨后的工件表面粗糙度值最大，其次为含有三乙醇胺的研磨液和含有乙二胺的研磨液研磨的工件，含有乙二醇的研磨液研磨的工件表面粗糙度数值最小。相同化学组份不同浓度的研磨液研磨后的工件表面粗糙度数值变化不明显，其差距在几个纳米之间，说明同一种研磨液对蓝石表面的化学反应对浓度的敏感性较微弱。而不同化学组份的研磨液对蓝宝石工件的化学反应差别 相 对 较 大，含 有 ２％ 乙二醇的研磨液 Ｃ、０．２％乙二胺的研 磨 液 Ｅ、２％三 乙 醇 胺 的 研 磨 液Ｆ与仅含有去离子水的研 磨 液 Ａ，研 磨 后 工 件 表面粗 糙 度 Ｒａ 的 数 值 分 别 相 差 ２５．５，１５．２ 和７．５ｎｍ，可见含有乙二醇的研磨液更能改善固结磨料研磨蓝宝石衬底的表面粗糙度，其次为三乙醇胺和乙二胺。

图３ 不同研磨液作用下的表面粗糙度Ｒａ

不同研磨液研磨后蓝宝石工件的表面形貌如图４所示。由于蓝宝石工件粗研后，面型精度较好，工件表面峰谷(ＰＶ)值低于２μｍ，而蓝宝石经过３０ｍｉｎ的精研后，材料去除量可达５μｍ 左右，可以排除 精 研 后 表 面 划 痕 是 粗 研 阶 段 所 留 的 可能。经去离 子 水 研 磨 后 的 工 件 表 面 有 较 深 的 划痕，说明在研磨过程中去离子水和蓝宝石工件之间的化学反应比较微弱，材料的去除主要依靠研磨垫上出露金刚石的切削。含有三乙醇胺的研磨液Ｆ和 Ｇ 研磨后的工件亦有较明显的划痕，可能是由于三乙醇胺增强了研磨垫的自修整性能，ＦＡＰ表面金刚石颗粒出露高度大，磨粒对表面进行滑擦造成较深的划痕。含有乙二醇的研磨液 Ｂ和 Ｃ划痕相对较少，说明其在加工的过程中化学反应较强，其次是含有乙二胺的研磨液 Ｄ和 Ｅ。

图４ 不同研磨液研磨后的工件表面形貌

研磨液在固结磨料研磨蓝宝石单晶的过程中，一方面工件表面发生一定的化学作用，生成硬度相对较小的表面软化层，有利于材料去除率的提高和表面质量的改善。另一方面研磨液对固结磨料研磨垫也有一定的腐蚀作用，促进研磨垫中金刚石磨粒的出露，加大对工件材料的切削。在整个研磨加工过程中，这两方面的作用都不能忽视，从工件的表面质量分析，对于工件表面质量提高具有促进作用的研磨液化学组份分别是：乙二醇＞三乙醇胺＞乙二胺＞去离子水。

３．３ ＸＰＳ分析

为了比较不同研磨液对蓝宝石工件的化学作用，使用含有去离子水、乙二醇、乙二胺和三乙醇胺４种不同化学组份的研磨液 Ａ，Ｃ，Ｅ，Ｇ 分别对相同条件研磨后的蓝宝石单晶浸泡３０ｍｉｎ，和一片未经浸泡的 干 态 蓝 宝 石 工 件 进 行 ＸＰＳ能 谱分析。图５所示 为 工 件 表 面 ＸＰＳ窄 扫 Ａｌ２ｐ图 谱，和图５(ｅ)干态 Ａｌ２ｐ谱峰相比，经过研磨液浸 泡后的 Ａｌ２ｐ谱 峰均 发 生 了 峰 位 偏 移，说 明 研 磨 液浸泡后的蓝宝石工件表面 Ａｌ元素存在于不同的化合态，可能是工件表面的 Ａｌ２Ｏ３ 与研磨液发生了相应的化学反应。

Ａｌ２ｐ谱 峰 在 ７３．３～７４．１ｅＶ 的 结 合 能 为Ａｌ２Ｏ３ 中 Ａｌ元 素的 结 合 能，７４．３～７５．０ｅＶ 为Ａｌ(ＯＨ)３中 Ａｌ元素的结合能，７３．９～７４．３ｅＶ 为ＡｌＯ(ＯＨ)中 Ａｌ元 素的 结 合 能。工 件 表 面Ａｌ２ｐ谱峰峰位的差异是由于 Ａｌ元素不同价态共存的结果。

图５ 不同研磨液浸泡后工件表面 Ａｌ２ｐ图谱

对 Ａｌ２ｐ谱峰分 峰 拟 合 处 理，根 据 谱 峰 面 积计算各不同价态对应峰位的相对含量如表 ３ 所示。可以看 出，经过研磨液浸泡后的工件 Ａｌ２ｐ均有双峰位的出现，可以推断工件表面均发生了一定程度的化学反应。溶液中 ＯＨ－ 根离子的增加，促使蓝宝石表面键能较小的 Ａｌ—Ａｌ键断裂，与 ＯＨ－ 根离子结合生成 Ａｌ(ＯＨ)３ 或 ＡｌＯ(ＯＨ)物质。溶液中的乙二醇对蓝宝石工件表面化学作用的 促 进 较 为 明 显，其次是乙二胺和三乙醇胺。蓝宝石工件在研磨液的作用下，可能发生的化学反应方程式为

３．４ 研磨机理

图６所示为固结磨料与蓝宝石工件接触示意图。研磨过程中，研磨垫表面经过修整后，部分金刚石磨料露出表面与蓝宝石工件接触。在载荷作用下，蓝宝石工件和研磨垫做相对运动，研磨垫上出露的金刚石颗粒对蓝宝石工件进行机械滑擦和耕犁，以切削去除蓝宝石工件表面最先接触的材料，实现二体磨削加工。在加工过程中，由于研磨垫基体对金刚石颗粒的把持力不等，会造成金刚石出露高度不同，当金刚石颗粒出露较低时，其切入蓝宝石工件表面的深度也较小，可以实现二体的延性加工。而当金刚石颗粒出露高度增加到一定程度时，由于其较高的硬度使其切入蓝宝石工件表面的深度增大，造成工件表面裂纹，实现了工件的二体脆性加工。在加工过程中，由于研磨压力的作用，使工件对出露磨粒的切向力增加，当切向力增加到一定程度时，会造成小部分出露高度大的金刚石颗粒脱落，混入研磨液中，对工件表面造成滚轧，实现材料的三体脆性加工。故从纯机械的角度出发，固结磨料对蓝宝石工件的研抛应该是二体延性加工、二体脆性加工和三体脆性加工综合作用的结果。

图６ 固结磨料研磨蓝宝石单晶示意图

同时，在固结磨料对蓝宝石工件的研磨过程中，研磨液一直处于工件与研抛垫之间。一方面，研磨加工过程中产生的切屑通过研磨液的流动排出，另一方面根据蓝宝石自身的物理和化学特性分析，研磨液对工件的化学作用也不能被忽视。蓝宝石工件在抛光过程中的水合层厚度为１ｎｍ 左右，但在碱性溶液里更易于 ＯＨ－ 根离子结合生成软化层［１４］。当研磨液中仅为去离子水时，研磨液中的Ｈ＋ 和 ＯＨ－ 根离子基本平衡，蓝宝石工件表面仅靠水合反应生成相应的 Ａｌ２Ｏ３·ｎＨ２Ｏ 水合层，当溶液中 ＯＨ－ 根离子增加时，Ａｌ２Ｏ３ 在碱性溶液中更易于 ＯＨ－ 根离子结合生成硬度较小的水铝石和偏铝酸根离子，有利于随后磨粒的机械去除。同时，研磨液中的化学组份亦会与研磨垫中的铜粉等物质络合，增加研磨垫基体的磨损，适当减小基体对磨粒的把持力，提高了ＦＡＰ的自修正能力，有助于提材料的去除速率。因此，固结磨料研磨过程中，蓝宝石工件材料的去除是机械和化学综合作用的结果。

４ 结 论

本文开展了固结磨料研磨单晶蓝宝石面板的实验研究。在其它工艺参数相同的情况下得的研究结果表明：使用 Ｗ１４镀镍金刚石固结磨料研磨蓝宝石单晶，研磨液仅为去离子水时，材料去除率ＭＲＲ为１４９．８ｎｍ／ｍｉｎ、表 面粗 糙 度 Ｒａ 为７６．２ｎｍ；而研磨液 中 加 入 ２％ 的 乙 二 醇 后，相 应 的 值分别为 ＭＲＲ 为２２４．１ｎｍ／ｍｉｎ，Ｒａ 为５０．７ｎｍ。说明研磨液对材料去除速率的提高和表面质量的改善具有促进作用。另外，含有２％乙二醇的研磨液浸泡后的工件表面 ＸＰＳ窄扫 Ａｌ２ｐ谱峰最弱，且发生峰位偏移的相对含量较高，说明在研 磨 过 程中，乙二醇更能够增加蓝宝石工件表面的活性，促进化学反应的发生，获得较好的表面质量和较高的材料去除率。相同化学组份不同浓度的研磨液其研磨效果没有明显差别，故蓝宝石单晶的固结磨料研磨 适 宜 的 研 磨 液 组 份 依 次 是：(１％乙 二 醇)＞(２％三乙醇 胺)＞(０．１％乙 二胺)＞(去 离 子 水)。本文的工作为加工工艺的优化提供了理论指导。