基片集成波导原理_清华李杨课题组综述：集成铌酸锂光子学

导读

绝缘层上铌酸锂(LNOI)因其优良的电光效应和非线性效应成为近年来最热门的集成光学材料平台之一。得益于加工技术的发展，在LNOI上加工超高品质的波导、微腔和非线性结构正在成为现实，利用这些结构实现的集成光电子器件也获得了性能的大幅提升。铌酸锂集成光子学正在成为当前学界和工业界的热门领域。

近日，来自清华大学的作者祁一凡和通讯作者李杨，在期刊《Nanophotonics》上发表了综述文章《Integrated Lithium Niobate Photonics》，对基于LNOI的集成光电子学常用结构、器件、系统的研究进展做了综述。

作者分别从以下四个方面进行展开：

(1)LNOI的加工技术和LNOI集成光电子器件的基本结构。作者以波导、谐振腔、周期极化铌酸锂(PPLN)和光耦合结构为基础，详细介绍了这些基本结构的设计思路、加工方法、物理性质和研究进展。利用这些设计和加工技术，可以组合出集成光电子器件常用的大部分器件结构。(图1)

(2)LNOI集成光电子器件。本文详细介绍了以电光调制和非线性效应为基础的常用LNOI集成光电子器件，包括集成电光调制器、非线性光学器件和频率梳等。文章系统性地回顾了这些器件的设计方法和研究前沿进展。

(3)以LNOI集成光电子器件为基础的系统性应用。作者回顾了以光通信、数据中心、微波光子学、量子光学、精密测量系统为代表的集成光电子系统性应用中LNOI器件所发挥的核