安徽大学计算机学院 张磊,安徽大学张磊在光学自由曲面高精度干涉检测领域取得进展...

近日，我实验室张磊老师在光学领域TOP期刊《Optics Express》中报道了在光学自由曲面高精度干涉检测领域取得的进展：“Deep neural network based calibration for freeform surface misalignments in general interferometer”。这是继2018年的"Pure adaptive interferometer for free form surfaces metrology."以来在《Optics Express》上发表的第二篇高水平论文。同时，与美国加州理工大学和浙江大学合作，在《APPLIED PHYSICS LETTERS》发表干涉图解调相关成果“Random two-frame phase-shifting interferometry via minimization of coefficient of variation.”。

光学自由曲面元件因其表面自由度较大，可以针对性地平衡不同的轴上或轴外像差，同时满足现代光学系统高性能，轻量化和微型化的要求，逐渐成为现代光学研究领域和工业及商业领域的新宠。在过去的几十年中，非球面的设计、加工和检测均获得了长足进步，而自由曲面设计、加工和检测则发展相对缓慢，尤其是面形检测技术已经成为制约其应用的最重要因素。囿于自由曲面的非旋转对称性，对其干涉检测技术的研究一直发展缓慢，如何实现光学自由曲面的高精度检测已经成为光学领域的研究热点。2018年，张磊老师在国内率先开展了自由曲面自适应干涉检测的研究。上述成果延续了这一研究探索，在自由曲面检测中利用深度神经网络解决了被测面失调像差非线性耦合的矫正问题。

论文第一作者及通讯作者为安徽大学张磊老师，共同通讯作者安徽大学李劲松教授。该研究得到了国家自然科学基金(61705002, 61675005, 61905001, 41875158)、安徽省自然科学基金、中国科学院天文光学技术重点实验室开放课题及超光滑表面无损检测安徽省重点实验室开放课题等经费资助。

相关成果：

Lei Zhang, Sheng Zhou, Dong Li, Yu Liu, Tianbo He, Benli Yu, and Jingsong Li, "Pure adaptive interferometer for free form surfaces metrology," Opt. Express 26(7), 7888-7898 (2018).  doi: 10.1364/OE.26.007888

Zhongtao Cheng, Dong Liu, Lei Zhang. Random two-frame phase-shifting interferometry via minimization of coefficient of variation. Appl. Phys. Lett. 115, 121107 (2019).  doi:10.1063/1.5118296