matlab激光散斑散射半径测量,基于激光散斑角度相关法表面粗糙度测量

引言表面粗糙度是衡量精密零件加工质量的一个重要指标。随着机械加工等工程领域的发展,对表面粗糙度测量的要求也越来越高。在表面粗糙度的测量中,光学方法具有非接触、不损伤表面、精度高和响应快等优点,其测量原理种类繁多,主要的测量方法有:散射法、干涉法、光学触针法、衍射法和散斑法等[1-2]。散斑是相干光学中的一个现象,它是由于在粗糙表面(透射或反射)散射的光波叠加产生的,因此散斑图像中携带了被照射表面的粗糙度信息,目前利用散斑方法测量物体表面粗糙度是实现非接触、快速测量的一种有效方法,它克服了接触式测量划伤被测表面和效率低等缺点。测量表面粗糙度的散斑方法又分为散斑对比度法和散斑相关法。散斑对比度测量方法又分单色与多色、像面散斑与衍射面散斑对比度法,测量范围较小,一般用于粗糙度小于0.25m范围内表面粗糙度测量,比较适用于光滑表面的粗糙度测量。散斑相关法测量范围大,可以从0.6m~13m,甚至更大一些,因此该方法适合比较粗糙表面的测量。散斑相关法又分为角度散斑相关法[3]、双波长散斑相关方法[4]、基于多色散斑延长效应的测量方法[5-6]等。作者基于远场角度散斑强度相关系数与表面粗糙度相关理论,设计了测量表面粗糙度的实验光路,提出了基于MATLAB编程的自动寻找相关度峰值的数据处理方法,实现了表面粗糙度的准确快速测量。对平铣模块的表面粗糙度进行了大量测量实验,基于MATLAB软件编写程序,自动寻找相关度峰值,提高了相关度获取速度,简化实验光路,增加了自动化程度,并最终验证了利用激光散斑对表面粗糙度进行精确测量的可行性。1远场角度散斑强度相关理论1.1角度散斑相关度与表面粗糙度的理论散斑相关是指一个表面在两种不同条件下产生的散斑图样间的相关度。通过改变入射角度或者被测表面旋转微小角度,记录改变前后两幅散斑图样,这种方法称为角度散斑相关。如图1所示,当束腰半径为L、波长为的高斯激光束分别以角度和角度+先后入射到粗糙表面的同一区域时,入射光经表面散射后,在透镜(焦距为f)的后焦面上形成两个远场散斑场。其强度分布分别为I1(,)和I2(,)。假设散斑场是由粗糙度参量比照明光束波长大得多的粗糙表面产生,同时粗糙面上有足够多的相互独立的散射元对复场振幅有贡献,那么复场振幅将遵从经典圆型复高斯统计。根据基尔霍夫电磁波散射理论,可以得到任意两点1和2所对应的散斑强度I1和I2的相关度为[7-12]:=exp[-(ksin2)2]exp{-[Lk/(2fcos)]2(1-2-fcos)2}exp{-[Lk/(2f)]2(1-2)2}(1)式中,为粗糙表面的轮廓均方根偏差;k=2/;f为Fig.1Schematicdiagramoffar-fieldangular-specklecorrelation透镜焦距。相关度又可以表示为:=zr(2)式中,z=exp{-[Lk/(2fcos)]2(1-2-fcos)2}exp{-[Lk/(2f)]2(1-2)2},r=exp[-(ksin2)2]。其中r中含有与表面粗糙度相关的因子。为了得到简化的相关度,即把相关度简化成只与表面粗糙度有关的函数,可以令z=1,即令:1-2-fcos=0,1-2=0;此时,相关度取得最大值,且=r。由(2)式可计算粗糙表面的轮廓均方根偏差:=-ln槡ksin(3)1.2角度散斑相关度峰值的计算定义角度散斑相关度:12=(I1-I1)(I2-I2)(I1-I1)2(I2-I2)2槡(4)式中,…表示平均。当入射角改变时,对应的散斑图像在-面上沿轴移动了fcos,因此当改变角度照射粗糙表面上同一区域时,所