eds能谱图分析实例_热场发射扫描电子显微镜与能谱分析仪

热场发射扫描电子显微镜与能谱分析仪

SEM

设备简介

日本电子JSM-7001F 热场发射扫描电子显微镜(Thermal Field Emission SEM)具有高分辨率性能，可以在中至高电压千伏(kV)和更高的束流下对非导电样品进行成像。可施用EDS、背散射成像、EBSD 等分析技术。能谱仪(EDS)是电子显微镜的重要附属配套仪器，利用不同元素的X 射线光子特征能量不同进行成分分析，结合电子显微镜，能够在1-3分钟内对材料的微观区域的元素进行定性半定量分析。

技术参数

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技术指标及参数

分辨率：2 nm(30 kV)/3.0 nm(10kV)；

加速电压：0.5kV-30kV；

放大倍数：10-500K；

浸没式热场发射电子枪，束流强度最大200nA，具有大束流高分辨特点,其中在5nA、WD10mm\15kV时分辨率3.0nm；

无漏磁物镜设计，便于磁性样品观测；适于配合多种分析性探头能谱探头面积高达50mm²的有效活区；

输入计数率>500,000cps，采集计数>200,000cps