repeatation翻译_半导体专业术语翻译

A

1st level packaging 第一级封装

2nd level packaging 第二级封装

aberration 象差/色差

absorption 吸收

acceleration column 加速管

acceptor 受主

Accumulate v. 积聚, 堆积

acid 酸

acoustic streaming 声学流

active region 有源区

activate 激活

activated dopant 激活杂质

active component 有源器件

adsorption 吸附

aerosol 悬浮颗粒

air ionizer 空气电离化器

alignment mark 对准标记

alignment 对准

alloy 合金

alternate adj. 交替的, 轮流的, 预备的 v. 交替, 轮流, 改变

aluminum 铝

aluminum subtractive process 铝刻蚀工艺

ambient 环境

ammonia(NH3) 氨气

ammonium fluoride(NH4F) 氟化氨

ammonium hydroxide(NH4OH) 氢氧化氨

amorphous 非晶的，无定型

analog 模拟信号

angstrom 埃

anion 阴离子

anisotropic etch profile 各向异性刻蚀剖面

anneal 退火

antimony(sb) 锑

antirelective coating(ARC) 抗反射涂层

APCVD 常压化学气向淀积

application specific IC(ASIC) 专用集成电路

aqueous solution 水溶液

area array 面阵列

argon(Ar) n. [化]氩

arsenic(As) 砷

arsine(AsH3) 砷化氢，砷烷

ashing 灰化，去胶

aspect ratio 深宽比，高宽比

aspect ratio dependent etching(ARDE) 与刻蚀相关的深宽比

asphyxiant 窒息剂

assay number 检定数

atmospheric adj. 大气的

atmospheric pressure 大气压

atmospheric pressure CVD(APCVD) 常压化学气向淀积

atomic force microscopy(AFM) 原子力显微镜

atomic number 原子序数

attempt n. 努力, 尝试, 企图 vt. 尝试, 企图

auger electron spectroscopy(AES) 俄歇电子能谱仪

autodoping 自掺杂

automatic defect classification(ADC) 缺陷自动分类

B

back-end of line(BEOL) (生产线)后端工序

backgrind 减薄

backing film 背膜

baffle vt. 困惑, 阻碍, 为难(挡片)

baffle assembly n. 集合, 装配, 集会, 集结, 汇编 (挡片块)

ball grid array(BGA) 球栅阵列

ballroom layout 舞厅式布局，超净间的布局

barrel reactor 圆桶型反应室

barrier metal 阻挡层金属

barrier voltage 势垒电压

base 基极，基区

batch 批

bay and chase layout 生产区和技术夹层区

beam blow-up 离子束膨胀

beam current 束流

beam deceleration 束流减速

beam energy 离子束能量

beol (生产线)后端工序

best focus 最佳聚焦

BGA 球栅阵列

Biasing 电压拉偏

BICMOS 双极CMOS

bincode number 分类代码号

bin map 分类图

bipolar junction transistor(BJT) 双极晶体管

bipolar technology 双极技术(工艺)

bird’s beak effect 鸟嘴效应

blanket deposition 均厚淀积

blower 增压泵

boat 舟

BOE 氧化层刻蚀缓冲剂Bon voyage [法]再见, 一路顺风[平安]

bonding pads 压点

bonding wire 焊线，引线

boron(B) 硼

boron trichloride(BCL3) 三氯化硼

boron trifluoride(BF3) 三氟化硼

borophosphosilicate glass(BPSG) 硼磷硅玻璃

borosilicate glass(BSG) 硼硅玻璃

bottom antireflective coating(BARC) 下减反射涂层

boule 单晶锭

bracket n. 墙上凸出的托架, 括弧, 支架 v. 括在一起

breakthrough step 突破步骤，起始的干法刻蚀步骤

brightfield detection 亮场检查

brush scrubbing 涮洗

bubbler 带鼓泡槽

buffered oxide etch(BOE) 氧化层腐蚀缓冲液

bulk chemical distribution 批量化学材料配送

bulk gases 大批气体

bulkhead equipment layout 穿壁式设备布局

bumped chip 凸点式芯片

buried layer 埋层

burn-box 燃烧室(或盒)

burn-in 老化

C

CA 化学放大(胶)

cantilever n. [建]悬臂

cantilever paddle 悬臂桨

cap oxide 掩蔽氧化层

capacitance 电容

capacitance-voltage test(C-Vtest) 电容-电压测试

capacitive coupled plasma 电容偶合等离子体

capacitor 电容器

carbon tetrafluoride(CF4) 四氟化碳

caro’s acid 3号液

carrier 载流子

carrier-depletion region 载流子耗尽层

carrier gas 携带气体

cassette (承)片架

cation 阳离子

caustic 腐蚀性的

cavitation 超声波能

CD 关键尺寸

CD-SEM 线宽扫描电镜

Celsius adj. 摄氏的

center of focus(COF) 焦点 焦平面

center slow 中心慢速

central processing unit(CPU) 中央处理器

ceramic substrate 陶瓷封装

CERDIP 陶瓷双列直插封装

Channel 沟道

channel length 沟道长度

channeling 沟道效应

charge carrier 载流子

chase 技术夹层

chelating agent 螯合剂

chemical amplification(CA) 化学放大胶

chemical etch mechanism 化学刻蚀机理

chemical mechanical planarization(CMP) 化学机械平坦化

chemical solution 化学溶液

chemical vapor deposition(CVD) 化学气相淀积

chip 芯片

chip on board(COB) 板上芯片

chip scale package(CSP) 芯片尺寸封装

circuit geometries 电路几何尺寸

class number 净化级别

cleanroom 净化间

cleanroom protocol 净化间操作规程

Clearfield mask 亮场掩膜板

Cluster tool 多腔集成设备

CMOS 互补金属氧化物半导体

CMP 化学机械平坦化

Coater/developer track 涂胶/显影轨道

Cobalt silicide 钴硅化合物

coefficient n. [数]系数

Coefficient of thermal expansion(CTE) 热涨系数

Coherence probe microscope 相干探测显微镜

Coherent light 相干光

coil v. 盘绕, 卷

Cold wall 冷壁

Collector 集电极

Collimated light 平行光

Collimated sputtering 准直溅射

Compensate v. 偿还, 补偿, 付报酬

Compound semiconductor 化合物半导体

Concentration 浓度

Condensation 浓缩

Conductor 导体

constantly adv. 不变地, 经常地, 坚持不懈地

Confocal microscope 共聚焦显微镜

Conformal step coverage 共型台阶覆盖

Contact 接触(孔)

Contact alignment 接触式对准(光刻)

Contact angle meter 接触角度仪

Contamination 沾污、污染

conti boat 连柱舟

conticaster [冶]连铸机

Continuous spray develop 连续喷雾显影

Contour maps 包络图、等位图、等值图

Contrast 对比度、反差

contribution n. 捐献, 贡献, 投稿

Conventional-line photoresist 常规I线光刻胶

Cook’s theory 库克理论

Copper CVD 铜CVD

Copper interconnect 铜互连

Cost of ownership(COO) 业主总成本

Covalent bond 共价键

Critical dimension 关键尺寸

Cryogenic aerosol cleaning 冷凝浮质清洗

Cryogenic pump(cryopump) 冷凝泵

Crystal 晶体

Crystal activation 晶体激活

Crystal defect 晶体缺陷

Crystal growth 晶体生长

Crystal lattice 晶格

Crystal orientation 晶向

CTE 热涨系数

Current-driven current amplifier 电流驱动电流放大器

CVD 化学气相淀积

Cycle time 周期

CZ crystal puller CZ拉单晶设备

Czochralski(CZ) method 切克劳斯基法

D

damascene 大马士革工艺

darkfiled detection