文章详细介绍了EDS（能量色散X射线谱仪）的工作原理，包括特征X射线的产生，EDS的结构及探测过程。EDS作为一种微区成分分析方法，能够分析钠(Na)以后的元素，具有高精度和良好的重现性。随着元素含量降低，分析的可靠度可能会下降。此外，文章还提到了样品要求和EDS技术的改进，如硅漂移探测器的应用。
什么是EDS？
我们通常所说的EDS全称为能量色散X射线谱仪，简称能谱仪，可同时记录所有X射线谱，用以测量X射线强度与X射线能量的函数关系。是一种不损坏试样的快速微区成分分析方法。通过测量材料被激发的特征X射线能量进行元素的定性分析，测量特征X射线强度进行定量分析。20世纪70年代初EDS开始商品化推广，现在基本是SEM的标配设备。
特征X射线
定义：原子内壳层电子被电离后，由外层电子向内壳层电子跃迁时产生的具有特征能量的电磁辐射光子。
当高速运动的电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，约1％的入射电子能量从样品中激发出反应试样信息的各种信号：二次电子、特征X射线、连续X射线、俄歇电子、背散射电子等。
EDS的结构及工作原理
特征X射线之所以特别，是因为不同元素所释放出的X射线能量是不相同的，就如同人的指纹，具有唯一性。利用特征X射线能量不同而进行的元素分析称为能量色散法。其
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