zemax设计35mm镜头_一种新型MEMS激光雷达折叠扫描系统的光学设计

一种新型MEMS激光雷达折叠扫描系统的光学设计

 Xiao bao Lee, Chunhui Wang, Zhaoxu Luo, Shengqing Li

针对基于MEMS的扫描系统中传统光学角度扩展存在发散严重、扫描角度受限的两个缺点，提出了在传统光学角度扩展中增加f透镜组和广角透镜组的新方法。讨论了光角展开的原理，给出了入射角与入射角的关系。利用光学设计软件ZEMAX，设计了基于MEMS镜面的折叠扫描光学系统。我们设计的折叠扫描光学系统不仅可以在大于60度的大角度视场中进行扫描，还可以在距离约160m处获得小于10cm的小光斑尺寸。该折叠扫描光学系统在三维成像激光雷达系统中具有重要的应用价值。

关键词：激光雷达 光学系统 透镜系统设计 几何光学设计

1.引言

新一代激光雷达系统趋向于小型化、轻和低成本。MEMS具有体积小、扫描速度快、成本低的特点，可以进行双轴扫描，成为此类激光雷达系统的重要组成部分。在基于MEMS的激光雷达中，一般采用双轴快速扫描MEMS作为扫描器，脉冲激光器作为光源。当一定重复频率(如100 kHz)的脉冲激光通过MEMS扫描镜投射到目标空间时，从目标反射回来的回波进入接收光学系统，聚焦在探测器的光敏表面上。利用单探测器和MEMS扫描镜实现脉冲激光在目标空间各扫描点的回波检测。因为机械偏转角度的单一MEMS扫描镜扫描高超过100赫兹的频率很小(约±5°),为了实现更大的扫描领域,传统的可行的方法是添加一个角度扩张光学系统传输系统。在传统的光学角度展开中，光学系统由两个透镜构成——一个位于MEMS镜前的正透镜和一个位于MEMS镜后的负透镜。

然而，这种传统透镜组至少存在两个不足:(1)涌现的激光束是发散的。虽然激光散度对近距离(几米)探测目标的影响不明显，但对几十米甚至更远的目标，投射到目标表面的射束光斑尺寸会变大;单位面积能量迅速下降，导致返回的激光能量占激光发射总能量的比例很小。信噪比太低而无法被检测器接收。(2)膨胀后总扫描角度受限(一般小于60度)。当视场角大于60度时，激光束的发散会更严重。

针对这些不足，本文拟设计一种基于MEMS微镜的可折叠扫描光学系统用于激光雷达系统，该系统可扩展MEMS的光学角度从4度到60度，解决了急射光束严重发散的问题，使靶上100米左右的激光束光斑尺寸小于10厘米。

 

图1 基于MEMS的扫描光学系统原理图 

图2 广角透镜组的设计原理示意图

2. MEMS折叠扫描光学系统原理