eds能谱图分析实例_成分分析的四大神器—XRF、ICP、EDX和WDX

成分分析技术主要用于对未知物、未知成分等进行分析，通过成分分析技术可以快速确定目标样品中的各种组成成分是什么，帮助实验人员对样品进行定性定量分析，鉴别等。今天，小析姐就给大家介绍四种成分分析的常见设备：XRF、ICP、EDX和WDX。

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X射线荧光光谱仪(XRF)

XRF指的是X射线荧光光谱仪，可以快速同时对多元素进行测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线(X-荧光)。从不同的角度来观察描述X射线，可将XRF分为能量散射型X射线荧光光谱仪，缩写为EDXRF或EDX和波长散射型X射线荧光光谱仪，可缩写为WDXRF或WDX，但市面上用的较多的为EDX。

WDX用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如分光晶体和探测器做同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，并以此进行定性和定量分析。EDX用X射线管产生原级X射线照射到样品上，所产生的特征X射线进入Si(Li)探测器，便可进行定性和定量分析。EDX体积小，价格相对较低，检测速度比较快，但分辨率没有WDX好。

近些年，X射线荧光光谱技术飞跃发展，在多项核心技术取得突破，例如，硅漂移探测器SDD(Silicon Drift Detector)技术，大幅提升X射线荧光计数率和谱线分辨率；双曲面弯晶DCC(Doubly Curved Crystal)技术，双曲面弯晶可设计为仅衍射X射线光管出射谱中的高强度特征X射线，X射线入射到样品为单色化X射线，避免了由于X射线管出射谱中连续轫致辐射造成的背景干扰，从而大幅提升被测元素荧光射线的信噪比；

近十几年才进入实际应用的全反射X射线荧光TXRF技术，仪器小型化，同时对元素有高的灵敏度，元素检出限达到ppb级别，但其制样复杂，需要样品在一个超平面平台上，从而限制了其使用范围等等；

另外还有微焦斑X射线管技术以及快速数字脉冲成形技术；偏振二次靶技术；在此不一一累述。

总之，在元素分析领域，近十年来，X射线荧光法是提升快的方法，可