国防科技大学计算机学院微电子,国防科大微电子所在声表面波高频特性研究方面取得重要进展...

最近，国防科技大学计算机学院微电子所陈书明教授团队与中国科学院半导体研究所、国防科技大学机电工程与自动化学院等多个研究小组合作，在高频声表面波特性研究中取得重要进展。

声表面波器件是近代声学中的表面波理论、压电学研究成果和微电子技术有机结合的产物，在传感检测、物联网、超距探测等领域获得了广泛应用。但由于声表面波信号幅值在高频段急剧衰减，进入Ku波段后的器件制备及参数优化成为难点，极大降低了其实用性。

在此背景下，博士生王磊和陈书明教授等提出了一种新型嵌入式电极结构，基于硅/金刚石/氮化铝复合膜层衬底，采用结构和参数的优化设计和实验，成功制备出谐振频率高达17.7GHz的声表面波器件，并阐明了产生上述现象的物理机理。相比于同材料、同结构参数传统电极声表面波器件的输出功率和谐振频率分别提高了10.7%和1.1%。该研究为声表面波器件往更高频率发展和应用提供了一种新的技术思路和方案。

该研究成果作为封面文章发表在近期Applied Physics Letters上，美国物理联合会(American Institute of Physics，AIP)的记者对作者进行了采访，并新闻报道了这一最新研究发现。国内相关领域媒体MEMS(麦姆斯咨询)等也进行了跟踪报道。

该项工作得到了军口探索研究项目、国家自然科学基金青年基金等多个项目的资助。

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(国防科大示范性微电子学院  王磊)