1.EDS功能：作为SEM一个配件，进行微区成分分析，定量分析，元素分布。
2.分析元素范围（Li3，Be4－Cf98）。
3.分辨率：约 0.1-0.5% weight。
首先，我们要知道什么是特征谱/连续谱。
特征X射线谱是阳极原子在高速电子作用下能级跃迁产生的；
连续谱是高速电子撞击阳极减速时产生的轫致辐射。轫致辐射的
eds能谱图分析实例_EDS(EDX)- Energy Dispersive X-Ray Spectrometer 能量色散谱仪
最新推荐文章于 2023-10-26 11:44:49 发布
本文介绍了EDS（能量色散谱仪）的功能，用于微区成分分析和定量分析。分析元素范围从Li3到Cf98，分辨率约为0.1-0.5% weight。重点讨论了特征X射线谱和连续谱的产生，并提到了进行有效EDS分析时需要注意的SEM参数，如加速电压、探针电流、光阑大小和工作距离，以及能谱仪的采集计数率、活时间和死时间等关键概念。
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