传感技术复习笔记（3）——电阻应变计式传感器

1 应变效应

• 导体或半导体材料在外界力（固体内部应力）的作用下产生机械变形时，其电阻值发生变化， 这种现象称为“应变效应”。

1.1 应变电阻的结构

• 一根长l，截面积为A的金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为：$R=\rho \frac{l}{A}$
• 当电阻丝（均质细棒）受到拉力 F 作用时，将伸长dl，横截面积相应减小dA，电阻率因材料晶格发生变形等因素影响而改变了dρ，从而引起电阻值相对变化量为：
  $$\frac{dR}{R}=\frac{d\rho }{\rho }-\frac{dl}{l}+\frac{dA}{A}$$

1.2 灵敏系数 K

- 灵敏系数 K 受两个因素影响：
- 材料几何尺寸的变化， 即1+2μ；
- 材料的电阻率发生的变化， 即（dρ/ρ）/ε。
- 大量实验证明，在电阻丝拉伸极限内，电阻的相对变化与应变成正比，即K为常数。

2 金属和半导体

2.1 金属材料的应变电阻效应

• 金属丝材的应变电阻效应以结构尺寸变化为主。
• 金属材料的电阻相对变化与其线应变成正比。
• 这就是金属材料的应变电阻效应。
• 对金属或合金, 一般Km=1.8～4.8。

2.2 半导体材料的压阻效应

• 压阻效应是指半导体材料，当某一轴向受外力作用时， 其电阻率ρ发生变化的现象。
• 由于πE>>(1+2μ)，因此半导体丝材的灵敏系数Ks≈πE。即半导体材料的应变电阻效应主要基于压阻效应。通常Ks=(50～80)Km。

2.3 金属-半导体应变片特性小结

2.3.1 灵敏度

• 金属电阻丝: Km=1+2 m, m为金属材料的泊松系数, m =0.3~0.5
• 半导体材料: Ks=(50~80)Km, 可测微小应变(600微应变),长度相对变化量为10-6mm/mm为1微应变

2.3.2 线性度

• 金属电阻丝：非线性误差小，在较大测量范围内应变片灵敏系数基本不变
• 半导体材料：非线性误差严重，测量范围小

2.3.3 动态特性

• 金属电阻丝：响应速度在低频时较好，但随频率提高，响应速度有可能跟不上而导致失真
• 半导体材料：因体积小，保证响应速度良好的频率范围较宽

3 电阻应变计的结构与类型

3.1 电阻应变计的结构

1. 敏感栅:实现试件表面应变向电阻转换的敏感元件。通常由直径为0.015～0.05mm的金属丝绕成栅状，或用金属箔腐蚀成栅状。
2. 基底:为保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置，通常用粘结剂将其固结在纸质或胶质的基底上。基底必须很薄，一般为0.02～0.04mm。
3. 引线:起着敏感栅与测量电路之间的过渡连接和引导作用。通常取直径约0.1～0.15mm的低阻镀锡铜线，并用钎焊与敏感栅端连接。
4. 盖层：用纸、胶作成覆盖在敏感栅上的保护层；起着防潮、防蚀、防损等作用。
5. 粘结剂：制造应变计时，用它分别把盖层和敏感栅固结于基底；使用应变计时，用它把应变计基底粘贴在试件表面的被测部位。因此它也起着传递应变的作用。
   常用的粘结剂分为有机和无机两大类。有机粘结剂用于低温、常温和中温。常用的有聚丙烯酸酯、酚醛树脂、有机硅树脂，聚酰亚胺等。无机粘结剂用于高温，常用的有磷酸盐、硅酸、硼酸盐等。

3.2 电阻应变计的类型

1. 金属丝式应变片
   主要有丝绕式（回线式）和短接式二种。回线式最为常用，制作简单，性能稳定，成本低，易粘贴，但横向效应较大。
   短接式应变计的最大优点是横向效应系数很小（<0.1％），但由于它的焊点多，焊点处截面变化剧烈，因而疲劳寿命短。
   
2. 金属箔式应变片
   利用照相制版或光刻技术将厚约0.003～0.01mm的金属箔片制成所需图形的敏感栅，也称为应变花
   
3. 半导体应变片
   由单晶半导体经切型、切条、光刻腐蚀成形，然后粘贴在薄的绝缘基片，最后再加上保护层。 但重复性、温度及时间稳定性差。
   灵敏系数大，比丝栅式、箔片式大几十倍，因而输出的信号大；
   横向效应系数小；
   机械滞后小；
   本身的体积小，便于制作小型传感器
   

4 静态特性（灵敏度）

• $\Delta R/R=K{\epsilon }_x$，${\epsilon }_x$应变计的轴向应变
• 一般K＜K0(应变片敏感栅整长应变丝的灵敏系数)
• 灵敏系数 K 除受到敏感栅结构形状、成型工艺、粘结剂和基底性能的影响外，尤其受到栅端圆弧部分横向效应的影响。
• K值通常采用从批量生产中抽样，在规定条件下通过实测确定，即应变片的标定；故 K 又称标定灵敏系数。

5 应变电桥

5.1 电桥平衡条件

$$R_1{R}_3=R_2{R}_4$$

• 相邻两臂电阻的比值应相等，或相对两臂电阻的乘积相等。

5.2 单臂电桥的电压灵敏度

6 电阻应变计的温度效应及其补偿

6.1 温度效应

• 由温度变化引起的应变片电阻变化的现象，称为应变片的温度效应。
• 在温度的作用下，应变片电阻相对变化与其
  • 敏感栅材料的电阻温度系数αt
  • 敏感栅材料线膨胀系数βt
  • 试件和基底材料体膨胀系数βs 有关

6.2 热输出

• 应变片在无测量应力作用时的温度效应用应变形式表示，称为应变片相对的热输出（温度作用的结果实际最终是以应变的形式表现出来）
• 前部分αtΔt/K 为应变片的热阻效应所造成；
  后部分(βs-βt)Δt 为敏感栅与试件（和基底）热膨胀失配所引起。
  
• 在工作温度变化较大时，热输出给应变片的测量造成很大的误差，因此，这种热输出的干扰必须加以补偿和消除。

6.3 热输出补偿方法

6.3.1 温度自补偿法

• 精心选配敏感栅材料与结构参数来实现热输出补偿 。

1. 单丝自补偿应变计
   在研制和选用应变计时，若选择敏感栅的合金材料，其αt 、βt能与试件材料的βs相匹配，即满足${\epsilon }_t=0$，达到温度自补偿的目的。
2. 双丝自补偿应变计
   敏感栅由电阻温度系数一正一负的两种合金丝串接而成。当工作温度变化时，若Ra栅产生正的热输出εa与Rb栅产生负的热输出εb相等或相近，就可达到自补偿的目的
   

6.3.2 桥路补偿法

• 桥路补偿法是利用电桥桥臂两边上电压和、差原理来达到补偿的目的

1. 双丝桥式法
   与双丝自补偿应变片雷同
   不同的是，敏感栅是由电阻温度系数同符号的两种合金丝串接而成；而且栅的两部分电阻 R1和 R2分别接入电桥的相邻两臂上。
   工作栅R1接入工作臂，补偿栅R2外接串接电阻RB(不敏感温度影响)接入补偿臂，另两臂接入平衡电阻R3和R4
   
2. 补偿块法——两个应变片