常见MEMS mic失效类型

常见MEMS mic的失效表现类型：
1、感度偏小
2、噪声偏大
3、电流偏大
4、无感

针对几种失效分析可能导致的原因：

1、感度偏小
感度 即灵敏度，测试偏小有可能的原因有：1.sensor出项异常，有异物或轻微破裂；2、声孔被堵住了

2、噪声偏大
可能导致的原因有：1、sensor有异物；2、Asic的某些部分如ADC异常也会导致噪声偏大

3、电流偏大
此种情况多为Asic出现异常，ESD or其它的导致Asic里面损坏从而电流偏大

4、无感

这种情况一般也有两方面的原因：sensor和Asic，sensor出现大面积破损会导致无感，Asic的由于ESD打坏了关键节点也会导致无感

导致MEMS mic失效的无非两个关键器件：sensor和Asic，通过观察外观，测试常见的电信号（电流，结特性），查看sensor表面等手段可以初步判断失效原因