型号:ZYGO ZMI4104
类别:位移 测量板
轴/板的数量: 2 1 或 2 4
板卡类型: 外壳 6U VME 6U VME64x
最小光功率: 8.0 µW 1.9 µW 1.0 µW 0.07 µW
位置分辨率: 1.24 nm 0.31 nm 0.15 nm
最大速度: ±0.475 m/s ±2.1 m/s ±2.55 m/s
最大速度下的精度(σ): 1.6 nm 0.5 nm 0.2 nm
循环误差补偿: 否 是
兼容的激光器: 7705 7702、7714 和 7724
注意:规格是针对双通干涉仪的。
测量板卡
ZMI™ 系列 – 位移测量干涉仪
ZMI位移 测量板
ZYGO ZMI4104 ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。
ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳,提供了两个测量轴。
ZYGO ZMI4104 ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率,适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中,支持扩展到多达 64 个测量轴。