ZYGO ZMI4104 位移 测量板 支持扩展到多达 64 个测量轴

型号：ZYGO ZMI4104

类别：位移 测量板

轴/板的数量： 2 1 或 2 4

板卡类型： 外壳 6U VME 6U VME64x

最小光功率： 8.0 µW 1.9 µW 1.0 µW 0.07 µW

位置分辨率： 1.24 nm 0.31 nm 0.15 nm

最大速度： ±0.475 m/s ±2.1 m/s ±2.55 m/s

最大速度下的精度（σ）： 1.6 nm 0.5 nm 0.2 nm

循环误差补偿： 否 是

兼容的激光器： 7705 7702、7714 和 7724

注意：规格是针对双通干涉仪的。

测量板卡

ZMI™ 系列 – 位移测量干涉仪

ZMI位移 测量板

ZYGO ZMI4104  ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。

ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳，提供了两个测量轴。

ZYGO ZMI4104   ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中，支持扩展到多达 64 个测量轴。