KLA-Tencor软件架构与模块 在半导体制造过程中,质量控制(Quality Control, QC)是确保产品可靠性和性能的关键环节。KLA-Tencor公司提供的QC软件是这一领域的领先解决方案之一。本节将详细介绍KLA-Tencor软件的架构和主要模块,帮助读者理解其内部工作原理和各个模块的功能。 1. 软件架构概述 KLA-Tencor QC软件的架构设