Quality Control软件：KLA-Tencor二次开发_（9）.二次开发工具与框架

于 2025-05-08 06:25:07 发布
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分类专栏： 半导体制造2 文章标签： 半导体制造 芯片制造仿真 芯片仿真
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二次开发工具与框架

在工业质量控制软件领域，KLA-Tencor软件的二次开发是一个重要的技术环节。通过二次开发，可以扩展和增强软件的功能，以满足特定的生产需求。本节将详细介绍KLA-Tencor软件的二次开发工具和框架，帮助读者理解如何利用这些工具和框架进行有效的开发。

在这里插入图片描述

1. KLA-Tencor二次开发概述

KLA-Tencor软件提供了丰富的二次开发接口和工具，使用户能够在不修改原厂代码的基础上，对软件进行功能扩展和定制。这些工具和框架主要包括API（应用程序接口）、SDK（软件开发工具包）、插件系统和脚本语言支持等。

1.1 API与SDK

API（应用程序接口）是KLA-Tencor软件提供的函数和方法，开发者可以通过调用这些API来实现特定的功能。SDK（软件开发工具包）则包含了一系列的开发工具、文档和示例代码，帮助开发者更高效地进行二次开发。

1.1.1 API使用示例

假设我们需要通过API获取某个检测设备的当前状态。KLA-Tencor提供了get_device_status API，我们可以通过以下Python代码示例来调用该API：


# 导入KLA-Tencor的API库

import klatencor_api



def get_device_status(device_id):

    """

    获取指定设备的当前状态



    :param device_id: 设备ID

    :return: 设备状态

    """

    # 调用API获取设备状态

    status = klatencor_api.get_device_status(device_id)

    return status



# 示例数据

device_id = "12345"



# 调用函数并打印结果

current_status = get_device_status(device_id)

print(f"设备 {device_id} 的当前状态是: {current_status}")

1.2 插件系统

KLA-Tencor软件支持通过插件系统进行功能扩展。插件系统允许开发者编写独立的模块，并将其加载到主程序中，以实现特定的功能。插件系统通常包括插件接口定义、插件加载机制和插件管理工具。

1.2.1 插件开发示例

假设我们需要开发一个插件来监控设备的温度。我们可以按照以下步骤进行：

  1. 定义插件接口：首先定义插件接口，确保插件能够被主程序识别和调用。

  2. 编写插件代码：编写具体的插件代码，实现温度监控功能。

  3. 加载插件：在主程序中加载并调用插件。

以下是一个简单的插件开发示例：


# 定义插件接口

class TemperatureMonitorPlugin:

    def monitor_temperature(self, device_id):

        """

        监控设备的温度



        :param device_id: 设备ID

        :return: 温度数据

        """

        raise NotImplementedError("子类必须实现此方法")



# 编写插件代码

class CustomTemperatureMonitor(TemperatureMonitorPlugin):

    def monitor_temperature(self, device_id):

        """

        实现温度监控功能



        :param device_id: 设备ID

        :return: 温度数据

        """

        # 模拟温度读取

        temperature = self._read_temperature_from_device(device_id)

        return temperature



    def _read_temperature_from_device(self, device_id):

        """

        从设备读取温度数据



        :param device_id: 设备ID

        :return: 温度数据

        """

        # 这里可以调用实际的设备接口

        # 为了示例，我们返回一个模拟的温度值

        return 25.0



# 加载插件

def load_plugin(plugin_class):

    """

    加载插件



    :param plugin_class: 插件类

    :return: 插件实例

    """

    plugin_instance = plugin_class()

    return plugin_instance



# 示例数据

device_id = "12345"



# 加载并调用插件

plugin = load_plugin(CustomTemperatureMonitor)

temperature = plugin.monitor_temperature(device_id)

print(f"设备 {device_id} 的当前温度是: {temperature}°C")

2. 脚本语言支持

KLA-Tencor软件支持多种脚本语言，如Python、Tcl和Perl等，这些脚本语言可以用于编写自动化脚本和定制化的功能。脚本语言的灵活性使得开发者可以快速实现原型和测试功能。

2.1 Python脚本示例

假设我们需要编写一个Python脚本来自动化设备的校准过程。以下是一个示例脚本：


# 导入KLA-Tencor的API库

import klatencor_api



def calibrate_device(device_id):

    """

    自动化设备校准



    :param device_id: 设备ID

    """

    # 获取设备当前状态

    current_status = klatencor_api.get_device_status(device_id)

    if current_status != "ready":

        raise ValueError(f"设备 {device_id} 不在就绪状态，无法进行校准")



    # 执行校准步骤

    klatencor_api.start_calibration(device_id)

    print(f"设备 {device_id} 校准开始")



    # 等待校准完成

    while klatencor_api.get_calibration_status(device_id) != "completed":

        print("校准进行中...")

        time.sleep(5)



    # 校准完成

    print(f"设备 {device_id} 校准完成")



# 示例数据

device_id = "12345"



# 调用校准函数

calibrate_device(device_id)

2.2 Tcl脚本示例

Tcl（Tool Command Language）是一种常用的脚本语言，广泛应用于自动化测试和设备控制。以下是一个Tcl脚本示例，用于自动化设备的运行测试：


# 导入KLA-Tencor的API库

package require klatencor_api



proc run_test {device_id} {

    # 获取设备当前状态

    set current_status [klatencor_api::get_device_status $device_id]

    if {$current_status != "ready"} {

        error "设备 $device_id 不在就绪状态，无法进行测试"

    }



    # 执行测试步骤

    klatencor_api::start_test $device_id

    puts "设备 $device_id 测试开始"



    # 等待测试完成

    while {[klatencor_api::get_test_status $device_id] != "completed"} {

        puts "测试进行中..."

        after 5000

    }



    # 测试完成

    puts "设备 $device_id 测试完成"

}



# 示例数据

set device_id "12345"



# 调用测试函数

run_test $device_id

2.3 Perl脚本示例

Perl是一种强大的脚本语言，特别适合处理文本和数据。以下是一个Perl脚本示例，用于自动化设备的参数设置：


# 导入KLA-Tencor的API库

use klatencor_api;



sub set_device_parameters {

    my ($device_id, $parameters) = @_;



    # 获取设备当前状态

    my $current_status = klatencor_api::get_device_status($device_id);

    if ($current_status ne "ready") {

        die "设备 $device_id 不在就绪状态，无法设置参数";

    }



    # 设置设备参数

    klatencor_api::set_device_parameters($device_id, $parameters);

    print "设备 $device_id 参数设置完成\n";

}



# 示例数据

my $device_id = "12345";

my $parameters = {

    exposure_time => 100,

    sensitivity   => 0.5,

    threshold     => 20

};



# 调用参数设置函数

set_device_parameters($device_id, $parameters);

3. 数据处理与分析

在质量控制软件中，数据处理和分析是一个核心环节。KLA-Tencor软件提供了丰富的数据处理和分析工具，开发者可以通过这些工具对采集到的数据进行处理和分析，以生成有价值的报告和图表。

3.1 数据处理示例

假设我们需要对检测设备采集到的数据进行预处理，包括去噪和标准化。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

import numpy as np

import klatencor_api



def preprocess_data(raw_data):

    """

    对原始数据进行预处理



    :param raw_data: 原始数据

    :return: 预处理后的数据

    """

    # 去噪

    filtered_data = klatencor_api.filter_noise(raw_data)



    # 标准化

    normalized_data = (filtered_data - np.mean(filtered_data)) / np.std(filtered_data)



    return normalized_data



# 示例数据

raw_data = np.array([10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55])



# 调用预处理函数并打印结果

preprocessed_data = preprocess_data(raw_data)

print(f"预处理后的数据: {preprocessed_data}")

3.2 数据分析示例

假设我们需要对预处理后的数据进行分析，以生成质量报告。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

import pandas as pd

import matplotlib.pyplot as plt

import klatencor_api



def analyze_data(preprocessed_data):

    """

    对预处理后的数据进行分析



    :param preprocessed_data: 预处理后的数据

    :return: 分析结果

    """

    # 转换为Pandas DataFrame

    data_df = pd.DataFrame(preprocessed_data, columns=["value"])



    # 计算统计数据

    mean_value = data_df["value"].mean()

    std_value = data_df["value"].std()

    max_value = data_df["value"].max()

    min_value = data_df["value"].min()



    # 生成报告

    report = {

        "mean": mean_value,

        "std": std_value,

        "max": max_value,

        "min": min_value

    }



    return report



# 示例数据

preprocessed_data = np.array([0.5, 1.0, 1.5, 2.0, 2.5, 3.0, 3.5, 4.0, 4.5, 5.0])



# 调用分析函数并打印结果

analysis_report = analyze_data(preprocessed_data)

print(f"分析报告: {analysis_report}")



# 生成图表

plt.figure(figsize=(10, 5))

plt.plot(preprocessed_data, label="预处理后的数据")

plt.axhline(analysis_report["mean"], color="red", linestyle="--", label="平均值")

plt.title("数据分布图")

plt.xlabel("时间")

plt.ylabel("值")

plt.legend()

plt.show()

4. 用户界面定制

KLA-Tencor软件的用户界面定制是一个重要的开发方向，通过定制用户界面，可以提高操作的便捷性和用户体验。KLA-Tencor软件支持使用多种前端框架和技术进行用户界面的定制，如Qt、Tkinter和Web框架等。

4.1 Qt界面定制示例

假设我们需要使用Qt框架来定制一个设备状态监控界面。以下是一个简单的Qt界面定制示例：


#include <QApplication>

#include <QMainWindow>

#include <QLabel>

#include <QPushButton>

#include <QVBoxLayout>

#include <QWidget>

#include <klatencor_api.h>



class DeviceStatusMonitor : public QMainWindow {

    Q_OBJECT



public:

    DeviceStatusMonitor(QWidget *parent = nullptr) : QMainWindow(parent) {

        // 创建主窗口

        QWidget *centralWidget = new QWidget(this);

        setCentralWidget(centralWidget);



        // 创建布局

        QVBoxLayout *layout = new QVBoxLayout(centralWidget);



        // 创建状态标签

        statusLabel = new QLabel("设备状态: 未知", centralWidget);

        layout->addWidget(statusLabel);



        // 创建更新按钮

        QPushButton *updateButton = new QPushButton("更新状态", centralWidget);

        layout->addWidget(updateButton);



        // 连接按钮点击事件

        connect(updateButton, &QPushButton::clicked, this, &DeviceStatusMonitor::updateStatus);

    }



private slots:

    void updateStatus() {

        // 获取设备状态

        QString device_id = "12345";

        QString status = QString::fromStdString(klatencor_api::get_device_status(device_id.toStdString()));



        // 更新状态标签

        statusLabel->setText("设备状态: " + status);

    }



private:

    QLabel *statusLabel;

};



int main(int argc, char *argv[]) {

    QApplication app(argc, argv);



    // 创建设备状态监控界面

    DeviceStatusMonitor monitor;

    monitor.show();



    return app.exec();

}

4.2 Tkinter界面定制示例

假设我们需要使用Tkinter框架来定制一个设备参数设置界面。以下是一个简单的Tkinter界面定制示例：


# 导入必要的库

import tkinter as tk

from tkinter import simpledialog

import klatencor_api



class DeviceParameterSetting:

    def __init__(self, master):

        self.master = master

        master.title("设备参数设置")



        # 创建设备ID输入框

        self.device_id_label = tk.Label(master, text="设备ID:")

        self.device_id_label.pack()

        self.device_id_entry = tk.Entry(master)

        self.device_id_entry.pack()



        # 创建参数输入框

        self.parameters_label = tk.Label(master, text="参数 (JSON 格式):")

        self.parameters_label.pack()

        self.parameters_entry = tk.Entry(master)

        self.parameters_entry.pack()



        # 创建设置按钮

        self.set_button = tk.Button(master, text="设置参数", command=self.set_parameters)

        self.set_button.pack()



        # 创建状态标签

        self.status_label = tk.Label(master, text="")

        self.status_label.pack()



    def set_parameters(self):

        # 获取设备ID和参数

        device_id = self.device_id_entry.get()

        parameters_str = self.parameters_entry.get()

        parameters = eval(parameters_str)



        # 设置设备参数

        try:

            klatencor_api.set_device_parameters(device_id, parameters)

            self.status_label.config(text="参数设置成功")

        except Exception as e:

            self.status_label.config(text=f"参数设置失败: {str(e)}")



# 创建主窗口

root = tk.Tk()

app = DeviceParameterSetting(root)

root.mainloop()

4.3 Web界面定制示例

假设我们需要使用Flask框架来定制一个设备状态监控的Web界面。以下是一个简单的Flask Web界面定制示例：


# 导入必要的库

from flask import Flask, render_template, request

import klatencor_api



app = Flask(__name__)



@app.route('/')

def index():

    return render_template('index.html')



@app.route('/update_status', methods=['POST'])

def update_status():

    # 获取设备ID

    device_id = request.form['device_id']



    # 获取设备状态

    status = klatencor_api.get_device_status(device_id)



    return {"status": status}



if __name__ == '__main__':

    app.run(debug=True)



<!-- index.html -->

<!DOCTYPE html>

<html lang="en">

<head>

    <meta charset="UTF-8">

    <meta name="viewport" content="width=device-width, initial-scale=1.0">

    <title>设备状态监控</title>

    <script src="https://code.jquery.com/jquery-3.6.0.min.js"></script>

</head>

<body>

    <h1>设备状态监控</h1>

    <form id="status_form">

        <label for="device_id">设备ID:</label>

        <input type="text" id="device_id" name="device_id">

        <button type="submit">更新状态</button>

    </form>

    <p id="status">设备状态: 未知</p>



    <script>

    $(document).ready(function() {

        $('#status_form').submit(function(event) {

            event.preventDefault();



            var device_id = $('#device_id').val();

            $.post('/update_status', {device_id: device_id}, function(response) {

                $('#status').text('设备状态: ' + response.status);

            });

        });

    });

    </script>

</body>

</html>

5. 数据库集成

在质量控制软件中，数据库集成是一个常见的需求。KLA-Tencor软件支持与多种数据库进行集成，如MySQL、PostgreSQL和MongoDB等。通过数据库集成，可以实现数据的持久化存储和查询。

5.1 MySQL数据库集成示例

假设我们需要将设备的检测数据存储到MySQL数据库中。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

import mysql.connector

import klatencor_api



def store_data(device_id, data):

    """

    将设备检测数据存储到MySQL数据库



    :param device_id: 设备ID

    :param data: 检测数据

    """

    # 连接数据库

    conn = mysql.connector.connect(

        host="localhost",

        user="root",

        password="password",

        database="kla_tencor"

    )

    cursor = conn.cursor()



    # 插入数据

    query = """

    INSERT INTO device_data (device_id, value, timestamp)

    VALUES (%s, %s, NOW())

    """

    cursor.executemany(query, [(device_id, value) for value in data])



    # 提交事务

    conn.commit()



    # 关闭连接

    cursor.close()

    conn.close()



# 示例数据

device_id = "12345"

data = [10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55]



# 调用存储函数

store_data(device_id, data)

5.2 PostgreSQL数据库集成示例（续）

假设我们需要将设备的校准结果存储到PostgreSQL数据库中。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

import psycopg2

import klatencor_api



def store_calibration_result(device_id, result):

    """

    将设备校准结果存储到PostgreSQL数据库



    :param device_id: 设备ID

    :param result: 校准结果

    """

    # 连接数据库

    conn = psycopg2.connect(

        host="localhost",

        user="postgres",

        password="password",

        dbname="kla_tencor"

    )

    cursor = conn.cursor()



    # 插入数据

    query = """

    INSERT INTO calibration_results (device_id, result, timestamp)

    VALUES (%s, %s, NOW())

    """

    cursor.execute(query, (device_id, result))



    # 提交事务

    conn.commit()



    # 关闭连接

    cursor.close()

    conn.close()



# 示例数据

device_id = "12345"

result = "成功"



# 调用存储函数

store_calibration_result(device_id, result)

5.3 MongoDB数据库集成示例

MongoDB是一个流行的NoSQL数据库，适用于存储和查询复杂的数据结构。假设我们需要将设备的配置参数存储到MongoDB数据库中。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

from pymongo import MongoClient

import klatencor_api



def store_device_config(device_id, config):

    """

    将设备配置参数存储到MongoDB数据库



    :param device_id: 设备ID

    :param config: 配置参数

    """

    # 连接数据库

    client = MongoClient("mongodb://localhost:27017/")

    db = client["kla_tencor"]

    collection = db["device_configs"]



    # 插入数据

    config['device_id'] = device_id

    config['timestamp'] = datetime.datetime.utcnow()

    collection.insert_one(config)



# 示例数据

device_id = "12345"

config = {

    "exposure_time": 100,

    "sensitivity": 0.5,

    "threshold": 20

}



# 调用存储函数

store_device_config(device_id, config)

6. 安全与权限管理

在进行二次开发时，安全和权限管理是不可忽视的重要环节。KLA-Tencor软件提供了多种安全机制和权限管理工具，确保二次开发的功能不会对系统的稳定性和安全性造成威胁。

6.1 安全机制

KLA-Tencor软件的安全机制主要包括：

  • 身份验证：确保只有经过验证的用户才能访问和操作软件。

  • 授权：定义用户的角色和权限，限制用户对特定功能的访问。

  • 数据加密：对敏感数据进行加密存储和传输，防止数据泄露。

6.1.1 身份验证示例

假设我们需要实现一个简单的身份验证功能，确保只有经过验证的用户才能调用API。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

import klatencor_api



def authenticate_user(username, password):

    """

    身份验证



    :param username: 用户名

    :param password: 密码

    :return: 验证结果

    """

    # 这里可以调用实际的身份验证服务

    # 为了示例，我们返回一个固定的验证结果

    if username == "admin" and password == "password":

        return True

    else:

        return False



def get_device_status(device_id, username, password):

    """

    获取指定设备的当前状态，需经过身份验证



    :param device_id: 设备ID

    :param username: 用户名

    :param password: 密码

    :return: 设备状态

    """

    # 身份验证

    if not authenticate_user(username, password):

        raise ValueError("身份验证失败")



    # 调用API获取设备状态

    status = klatencor_api.get_device_status(device_id)

    return status



# 示例数据

device_id = "12345"

username = "admin"

password = "password"



# 调用函数并打印结果

try:

    current_status = get_device_status(device_id, username, password)

    print(f"设备 {device_id} 的当前状态是: {current_status}")

except ValueError as e:

    print(f"错误: {str(e)}")

6.2 权限管理

KLA-Tencor软件的权限管理机制允许开发者定义和管理用户的角色和权限。通过权限管理，可以确保用户只能访问和操作他们被授权的功能。

6.2.1 权限管理示例

假设我们需要实现一个简单的权限管理功能，确保只有特定角色的用户才能调用某个API。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

import klatencor_api



def check_permission(username, role):

    """

    检查用户是否有指定角色



    :param username: 用户名

    :param role: 角色

    :return: 检查结果

    """

    # 这里可以调用实际的权限管理服务

    # 为了示例，我们返回一个固定的检查结果

    if username == "admin" and role == "operator":

        return True

    else:

        return False



def calibrate_device(device_id, username, role):

    """

    自动化设备校准，需经过权限检查



    :param device_id: 设备ID

    :param username: 用户名

    :param role: 角色

    """

    # 权限检查

    if not check_permission(username, role):

        raise ValueError("权限不足")



    # 获取设备当前状态

    current_status = klatencor_api.get_device_status(device_id)

    if current_status != "ready":

        raise ValueError(f"设备 {device_id} 不在就绪状态，无法进行校准")



    # 执行校准步骤

    klatencor_api.start_calibration(device_id)

    print(f"设备 {device_id} 校准开始")



    # 等待校准完成

    while klatencor_api.get_calibration_status(device_id) != "completed":

        print("校准进行中...")

        time.sleep(5)



    # 校准完成

    print(f"设备 {device_id} 校准完成")



# 示例数据

device_id = "12345"

username = "admin"

role = "operator"



# 调用校准函数

try:

    calibrate_device(device_id, username, role)

except ValueError as e:

    print(f"错误: {str(e)}")

7. 性能优化与调试

在二次开发过程中，性能优化和调试是确保软件稳定性和高效运行的关键环节。KLA-Tencor软件提供了多种性能优化工具和调试手段，帮助开发者诊断和解决性能问题。

7.1 性能优化

性能优化主要包括：

  • 代码优化：优化代码逻辑，减少不必要的计算和资源消耗。

  • 数据库优化：优化数据库查询和索引，提高数据处理速度。

  • 并发处理：利用多线程或多进程技术，提高软件的并发处理能力。

7.1.1 代码优化示例

假设我们需要优化一个设备数据处理的函数，以减少计算时间。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

import numpy as np

import klatencor_api



def preprocess_data_optimized(raw_data):

    """

    对原始数据进行预处理（优化版）



    :param raw_data: 原始数据

    :return: 预处理后的数据

    """

    # 去噪

    filtered_data = klatencor_api.filter_noise(raw_data)



    # 标准化

    mean_value = np.mean(filtered_data)

    std_value = np.std(filtered_data)

    normalized_data = (filtered_data - mean_value) / std_value



    return normalized_data



# 示例数据

raw_data = np.array([10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55])



# 调用优化后的预处理函数并打印结果

preprocessed_data = preprocess_data_optimized(raw_data)

print(f"优化后的预处理数据: {preprocessed_data}")

7.2 调试

调试主要包括：

  • 日志记录：记录详细的日志信息，帮助开发者诊断问题。

  • 单元测试：编写单元测试，确保每个功能模块的正确性。

  • 性能测试：进行性能测试，评估软件的性能和响应时间。

7.2.1 日志记录示例

假设我们需要记录设备校准过程的日志信息。以下是一个Python示例：


# 导入必要的库

import logging

import time

import klatencor_api



# 配置日志记录

logging.basicConfig(filename='calibration.log', level=logging.INFO, format='%(asctime)s - %(levelname)s - %(message)s')



def calibrate_device_with_logging(device_id):

    """

    自动化设备校准，记录日志



    :param device_id: 设备ID

    """

    # 获取设备当前状态

    current_status = klatencor_api.get_device_status(device_id)

    logging.info(f"设备 {device_id} 当前状态: {current_status}")

    if current_status != "ready":

        logging.error(f"设备 {device_id} 不在就绪状态，无法进行校准")

        raise ValueError(f"设备 {device_id} 不在就绪状态，无法进行校准")



    # 执行校准步骤

    klatencor_api.start_calibration(device_id)

    logging.info(f"设备 {device_id} 校准开始")



    # 等待校准完成

    while klatencor_api.get_calibration_status(device_id) != "completed":

        logging.info("校准进行中...")

        time.sleep(5)



    # 校准完成

    logging.info(f"设备 {device_id} 校准完成")



# 示例数据

device_id = "12345"



# 调用校准函数

try:

    calibrate_device_with_logging(device_id)

except ValueError as e:

    print(f"错误: {str(e)}")

8. 总结

通过本节的详细介绍，读者应该对KLA-Tencor软件的二次开发工具和框架有了一个全面的了解。这些工具和框架为开发者提供了丰富的接口和功能，使得二次开发变得更加高效和灵活。在实际开发过程中，开发者可以根据具体需求选择合适的工具和框架，进行功能扩展和定制。

8.1 关键点回顾

  • API与SDK：提供了丰富的函数和方法，帮助开发者扩展和增强软件功能。

  • 插件系统：允许开发者编写独立的模块，实现特定的功能。

  • 脚本语言支持：支持多种脚本语言，如Python、Tcl和Perl，方便快速实现原型和测试功能。

  • 数据处理与分析：提供了丰富的数据处理和分析工具，生成有价值的报告和图表。

  • 用户界面定制：支持使用多种前端框架和技术，提高操作的便捷性和用户体验。

  • 数据库集成：支持与多种数据库进行集成，实现数据的持久化存储和查询。

  • 安全与权限管理：提供了多种安全机制和权限管理工具，确保系统的稳定性和安全性。

  • 性能优化与调试：提供了多种性能优化工具和调试手段，帮助开发者诊断和解决性能问题。

希望本节的内容能够对读者在KLA-Tencor软件的二次开发中提供帮助和指导。

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