轮廓扫描干涉测量仪与法布里-珀罗标准具

干涉测量作为最重要的光学测量技术之一已在各领域得到广泛应用。我们将介绍两个示例，利用轮廓扫描干涉仪测量表面形貌和利用Fabry-Pérot标准具实现光谱测量。得益于非序列扩展功能，这两个应用所采用的系统在VirtualLab中可以轻松地实现设置。不仅可以清晰地对其工作原理进行描述及可视化，利用非序列场追迹技术更能够快速且精确地对这类系统进行分析。

轮廓扫描干涉测量仪
 

利用低相干氙灯光源，迈克尔逊干涉仪可以精确扫描给定样品的表面轮廓。

利用标准具检查钠灯D光

在VirtualLab Fusion中使用非序列场追迹技术建模二氧化硅间隔标准具，并用将其于测量钠D光。