方形晶胞.

本文详细描述了一个二维光栅实验,研究了S和P偏振光照射下,193nm波长的光在铬菱形结构、玻璃基底和空气背景材料中的近场强度分布,以及透射衍射级次的强度变化,同时探讨了入射角和图案宽度对这些现象的影响。

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这是一个简单的二维光栅的案例,它有两个周期的方形晶格。三维单元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一个位于衬底上的菱形(平行六面体),并被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(菱形结构)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。

光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度

S偏振光照明的场矢量

P偏振光照明的场矢量
 

后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。
 

参数扫描
 

Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表,显示了反射和透射衍射级次的强度:

在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,在一个固定的照明角度下,其中图案宽度从150nm增至250nm。这将产生以下依赖关系

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