抛光树脂用于电子级双氧水制备除杂的技术

一、定义与性质
电子级双氧水是一种高纯度的氧化剂,化学式为H₂O₂,是一种无色透明的液体。其相对分子质量为34.01 g/mol,密度为1.450 g/mL,沸点为150.2℃,熔点为-0.43℃。它是一种极强的氧化剂,能够氧化许多有机和无机物质。电子级双氧水的纯度通常高达99.9999%(六个九),可以满足半导体和电子行业对高纯度氧化剂的需求。

二、主要用途
电子级双氧水主要用于半导体和电子行业的制造和加工过程中。在半导体行业中,它通常用于清洗和去除表面污染物,例如去除表面的有机物、金属离子和硅化物。此外,电子级双氧水还可用于蚀刻、氧化和镀膜等工艺中。在电子行业中,它主要用于生产电池和电子元件,可以用于清洗和去除电子元件表面的污垢和油脂,确保电子元件的性能和质量。此外,电子级双氧水还可以用于生产锂离子电池等高端电池产品中。

三、纯化技术
电子级双氧水的纯化技术对于保证其高纯度至关重要。目前,常用的纯化方法包括精馏法、离子交换树脂纯化法和膜分离技术。精馏法一般被用来浓缩双氧水,通过气液分离去除有机物,但容易受到气液分离不完全及雾状液体携带的影响,导致纯度不高。离子交换树脂纯化法是将原料双氧水通过有机碳吸附和阴阳离子交换树脂处理,去除有机碳和部分金属离子杂质。膜分离技术则通过特定孔径的膜过滤,有效去除颗粒杂质和部分有机杂质。

抛光混床树脂技术实现电子级溶剂99.99%高纯度!

Tulsimer ® MB-106UP为阶核子级抛光树脂, 是由核子级强酸型阳离子Tulsimer ®  T-46Li 及核子级强碱型阴离子 Tulsimer ®  A-33OH 以1:2 体积比的剂量比例 , 预先混合的混床级离子交换树脂,专门提供给超纯水系统抛光用,具有的交换容量及优越的物理特性。适合用于电子产业 ,生产半导体及映像管产业,实验室,激光,精仪器,医用行业等需要超纯水的行业,以及核电厂等使用。在全球我们有数十家 核电厂使用我们的抛光树脂。

四、纯度等级
电子级双氧水的纯度等级按照国际半导体设备和材料协会标准SEMI C30-0218,可分为五个等级。其中,最高等级SEMI Grade5要求单项金属离子含量≤10ppt,比最低等级SEMI Grade1(≤100ppb)高出约4个数量级。这种严格的纯度要求是为了确保在半导体和电子制造过程中不会引入杂质,从而保证产品的性能和质量。

电子级双氧水作为半导体和电子行业不可或缺的关键材料,其高纯度和强氧化性使其在清洗、蚀刻、氧化和镀膜等工艺中发挥着重要作用。随着电子技术的不断发展,对电子级双氧水的需求也将持续增长,推动相关纯化技术的不断创新和进步。

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