【贪玩巴斯】传感器与检测技术 （二）「半导体传感器基础」2021-09-30

1.半导体传感器的基本概念

• 信息传感与能量转换：
• • 荷电粒子（电子或者空穴）
• 传感器的基本结构 = 传感元件 + 弹性（敏感）元件
• 传感器：
• • 电阻、压点、Hall、光电、ISFET
• 传感系数：
• • 灵敏度
• 传感参量响应：
• • 应变、温度、压点（可逆）、光、图像、生化参量

2. 半导体的历史

1947年12月，美国贝尔实验室的肖克利、巴丁和布拉顿组成的研究小组，研制出一种点接触型的锗晶体管，这是全球第一个半导体器件。在半导体发展的70多年历史中，中国人依靠聪明才智，发挥了重要的作用

3. 半导体的基础物性

• 作为敏感元件的物性基础将归结为半导体内电子的特征。作为敏感元件的半导体材料主要包括：
• • 单一元素：Si、Ge、Se等；
• • 二元化合物有GaAs、GaP、Insb、Zns、CdS等；
• • 多元化合物；
• • 也有一些有机半导体
• • 从结构上来讲有晶体半导体和非晶体半导体，晶体半导体又分为多晶和单晶体。

3.1 典型半导体的能带图

• 价带：较稳定的
• 导带：最外层的
• 禁带：能力跃迁的
  

3.2 Si中掺入（掺杂）杂质时的结合状态

稀土为何是半导体中的关键？
——因为是掺杂

4. 压阻式传感器

• 温度、压力的测量
• 会响应压力
• 半导体敏感条——传感元件
  图图

热敏电阻

电阻值随温度显著变化而制成的传感器，不仅做传感器也做响应器件。
热敏电阻可分为三类——负温度系数（NTC）热敏电阻、正温度系数（PTC）热敏电阻和临界温度系数热敏电阻（CTR）等三类。

压电式半导体

石英晶体的压电效应（最早发现的压电效应）

石英晶体谐振器与传感器

Hall效应（霍尔效应）

• 电子应用受磁场影响（弱离子）
• 本质是运动电荷受磁场中洛伦兹力的作用

光电式半导体传感器

光敏电阻

PN结光电二极管

半导体的受激辐射

CCD固体图像传感器

CMOS图像传感器

X射线

X射线CT扫描

生化敏传感器

传感器中的一个小类

MOSFET 传感元件

ISFET传感元件

生物分子识别