几种激光器的封装基板

独立激光器的封装,大约归类一下,无非是陶瓷、硅和玻璃。

各有优缺点,并没有十分完美的封装基板,换句话说,如果有,那就不存在选择,而是直接大规模应用了,就像我们压根就没想过把激光器芯片封装在木头上,是吧,每一个特性能满足的。常见的是COC,激光器在陶瓷基板上,陶瓷,高速里主要是氮化铝陶瓷,热膨胀系数和InP激光器接近,也绝缘,高频特性比较好,氮化铝的导热性能很好。也是目前用的最多的一种封装基板

但,有俩劣势,一个是没有光学能力,需要额外加透镜,另一个是陶瓷很难处理深度结构信息,不好刻槽。

不用金丝,激光器倒装,对高频特性更好,省去了金丝的寄生电感引起的阻抗不匹配,但是下图这样式儿的,对激光器设计压力比较大,焊接时很容易污染激光器的发光面。

用硅基板,最大的好处是容易刻蚀,做3D的位置限定,不像上图需要对透镜做耦合和位置固定。

硅基板的劣势,硅是半导体,不是绝缘体。哪怕用高阻硅来做,依然性能比陶瓷和玻璃要弱一些。

激光器倒装,比用金丝,可以更高频。在硅上,做一层氧化物,生成氧化硅,这是绝缘体了,能提高电信号的频率,但付出的代价是氧化硅的热导率很差,热膨胀系数也与硅和InP激光器不一致。

直接用玻璃基板,就像咱前边说过的,玻璃根据组分的不同,可以调整膨胀系数,而且绝缘,有利于高频特性,另外玻璃还是透明的,可以集成透镜,比如VCSEL倒装,光向下发射,用这个透镜,就看起来很好,这几个特点看起来都是优点,付出的代价是没法导热,玻璃的热导率,只有硅或者氮化铝陶瓷的几百分之一,所以需要额外在激光器上加热沉

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