IDI55862276I6的博客

原创 电子半导体超纯水制备分享

对于半导体行业的溶解性气体，我国国标对于电子水的规定中没有这些指标，但是近年的半导体行业，对于溶解氧(DO)的要求甚至严格到小于1ppb，所以去除水中的溶解氧是技术难点，在去除的同时，还要保证隔绝空气，对于容器和管道的气密性要求非常严格。由于最终要求的超纯水要求特别严格，所以超纯水制造工艺中，除了各种处理工艺，对于设备的材质要求也很高，不合适的材质可能导致杂质溶出，造成二次污染，目前超纯水的过流材料一般是PVDF，PTFE，PFA等材质的特别稳定的高分子合成材料。半导体工业的超纯水制备技术的工艺状况。