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原创 电子半导体超纯水制备分享
对于半导体行业的溶解性气体,我国国标对于电子水的规定中没有这些指标,但是近年的半导体行业,对于溶解氧(DO)的要求甚至严格到小于1ppb,所以去除水中的溶解氧是技术难点,在去除的同时,还要保证隔绝空气,对于容器和管道的气密性要求非常严格。由于最终要求的超纯水要求特别严格,所以超纯水制造工艺中,除了各种处理工艺,对于设备的材质要求也很高,不合适的材质可能导致杂质溶出,造成二次污染,目前超纯水的过流材料一般是PVDF,PTFE,PFA等材质的特别稳定的高分子合成材料。半导体工业的超纯水制备技术的工艺状况。
2023-12-08 09:41:37 172
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