用于宽带消色差偏振不敏感超构透镜设计的多区域样式扩展方法

Abstract

需要大数值孔径(NA)、大直径、高效率的宽带消色差偏振不敏感超构透镜。现有方法可以以牺牲其他方式显着提高上述性能之一。在这项工作中，提出了多区域泰勒展开方法（MZTEM），以减少不同关键品质因数之间的权衡。该方法将超构透镜分为奇数环甚至环区域，然后用偶数(奇数)环区域的定制函数向前移动奇数(偶数)环超构透镜焦点峰，最后优化元单元的排列，以获得更高的效率。基于MZTEM，设计了一种绝缘体上消色差偏振不敏感铌酸锂(LNOI)超构透镜，工作在波长λ = 430 nm到750 nm可见，聚焦效率为35%-63%，NA为0.255。此外，半极大值(FWHM)变化的全宽小于0.14μm，在0°-10°入射角内聚焦效率变化小于2%。

question

1. 大数值孔径(NA)、大直径的宽带消色差偏振不敏感超构透镜意味着什么？

introduction

由定制的亚波长结构组成的光学超表面可以同时独立地准确地操纵光的性质，如相位、振幅和偏振[1-7]。在过去的十年中，已经证明了各种基于超表面的紧凑光学器件，如全息图[8-10]、平面透镜[11-16]和偏振计[17-19]。在这些应用中，超构透镜是取代传统透镜小型化最有前途的候选者之一，因其对便携式和可穿戴设备的适用性而备受关注。与多阶衍射透镜相比，超透镜可以实现完美的宽带聚焦[20]。近年来，具有大数值孔径 (NA) [21, 22] 的超透镜、宽视场 [23]、大宽带 [24] 和高效率 [25] 已被单独证明。然而，实现具有所有四个特征的超构透镜具有挑战性。到目前为止，已经开发了几种方法来设计高效率的消色差超构透镜。多波长方法消除了几个离散波长的色差[26-29]，但它无法实现宽带消色差成像。泰勒展开相位剖面方法[30]通过满足相位、群延迟(GD)和群延迟色散(GDD)剖面来缓解这种情况，但由于元透镜[12]偏转角的增加，相位剖面的欠采样，很难在保持带宽和效率的同时获得高NA。在这项工作中，我们提出了一种名为多区域泰勒展开方法 (MZTEM) 的新方法。与泰勒展开相位剖面方法相比，MZTEM 可用于在不增加相位梯度的情况下获得具有更高 NA 和更大尺寸的超透镜，而不会牺牲效率和带宽。对于概念验证，使用MZTEM在可见光中设计了一种绝缘体(LNOI)超构透镜上的宽带消色差偏振不敏感锂铌酸。

(a)奇数环超构透镜和最终组合超构透镜沿z轴的METEM和强度分布示意图，超构透镜中的粉色区域不透明。(b) 3π超构透镜示意图。从内部到外部有中心圆形区域、内环区域和外环区域。

2. Methods and design

2.1. Principle of multi-zone taylor expansion method (MZTEM)

宽带消色差超构透镜的泰勒展开相位、GD和GDD条件应在泰勒展开相位剖面法[30]中满足，可以用方程((1)-(3))来描述:

其中 rx y2 2= + 是任意点和超构透镜中心之间的距离，0l 是入射光的中心波长，f 是焦距，w 是入射光的角频率，C 是光速，A 和 B 是常数。
MZTEM从根据相位剖面(式(1))将超构透镜划分为π相区间的一组同心环(中心圆被视为内径无限小的环)，如图1(a)所示。奇数环甚至环面积分别用不同的相位GD和GDD剖面设计，这与泰勒展开相位剖面方法[30]不同，后者整个超构透镜具有一组相位、GD和GDD剖面。接下来，我们考虑一个元单元，它只配置在定制阶段、GD和GDD剖面引导的奇数环区域，偶数环区域不透明。与菲涅耳区板在聚焦方面类似，这种超构透镜有多个焦点。然后巧妙地设计了偶数环区的相位GD和GDD曲线，以确保在一定焦点f1处的偶数环区折射光的相位和幅度与奇数环区的相位和幅度相匹配。这一步使最大强度峰值值从点 f2 移动到 f1，从而产生更高的 NA 和更小的 FWHM。由于所有环都满足各自的相位GD和GDD函数，MZTEM设计的超构透镜的宽带焦距一致性接近于泰勒展开相位剖面方法设计的超构透镜的宽带焦距一致性。值得注意的是，MZTEM适用于偏振相关和偏振不敏感的超构透镜设计。为了更好地理解多区域泰勒展开方法的原理，我们以传输模式下的3π超构透镜为例，在下面的讨论中，最大相位差为3π。因此，这个3π金属被划分为奇数环区域:中心圆面积(2π−3π)、外环面积(0−π)甚至环面积:内环面积(π−2π)，如图1(b)所示。

2.2.可见宽带消色差偏振不敏感LNOI超构透镜的设计

铌酸锂(LiNbO3, LN)具有较大的折射率和低色散，前者可以减少相邻纳米结构的影响，后者有助于减少宽带聚焦中的色散。同时，铌酸锂从350 nm到5000 nm[27]有很大的透明度窗口，红外波段的宽带消色差LNOI超构透镜也可以使用MZTEM设计。

纳米柱(a)和反纳米柱(b)的模拟相(红点)和透射(蓝点)，插图显示了元单元的结构。GD 作为纳米柱 © 和反向纳米柱 (d) 宽度的函数。不同宽度纳米柱(e)和反纳米柱(f)的模拟相位和拟合曲线。

此外，最近的进展在LN薄膜制造技术中，利用聚焦离子束(FIB)铣削[31]创建具有30 nm超小间隙和2.5 μm刻蚀深度的密集纳米棒阵列，以及近90°波导侧壁使用薄氧化物掩模和高选择性湿蚀刻[32]，这使得LNOI超构透镜成为可能。在这项工作中，我们使用 LNOI 来构建宽带消色差偏振不敏感超构透镜。LN在可见(λ = 430 nm ~ 750 nm)[33]中具有2.3995-2.2624的折射率，衬底为500 μm厚的石英。各向同性纳米结构，如圆形和方形，可以实现与偏振无关的超构透镜[34]。具有方形截面的纳米柱，如图2(a)和反向纳米柱所示，如图2(b)所示，被选为元单元来构建超构透镜。反纳米柱可以扩大纳米柱的相位延迟和GD范围，以获得更大的直径消色差金属透镜。首先，我们在500 nm处固定波长λ0，得到每个元单元的相位延迟及其GD。构建基本元单元组有三个原则：（1）元单元的传输应尽可能高，这决定了超构透镜的聚焦效率。(2) 宽度 w 应该变化以覆盖一系列 3π 相位延迟，GD 应尽可能宽。(3) 在可见波长范围内，当 w 在晶格常数 [35] 内变化时，相位延迟应该与角频率呈线性关系。这种线性条件确保消色差聚焦在给定的带宽内。
我们选择的基本元单元组如图2所示，纳米柱的高度为500 nm，晶格常数p为230 nm。纳米柱的相位延迟范围为0 ~ 2.12π，传输为> 90%(图2(a))。与600 nm高反纳米柱一起，全3π相位覆盖(图2(b))和-5.07 fs 到 -2。实现了01 fs组延迟(图2©， (d))。图 2(e) 和 (f) 说明了角频率与相位呈线性关系。不同高度的元透镜可以通过嵌套来制造。值得注意的是，在相同的相移和GD下，反向纳米柱可以被其他500 nm高各向同性纳米结构取代，聚焦特性保持不变。其次，模拟了焦距为100 μm、直径为24.52 μm的奇环超构透镜，包含中心圆(2π−3π)面积和外部环(0−π)面积的奇环超构透镜。图3(a)显示了可见中不同波长沿z轴的强度分布。据预测，奇数环超构透镜沿z轴有多个强度焦点峰，其中f1和f2是两个最大强度峰。f1 和 f2 峰都接近衍射极限值（图 3(b))。然而，f1 峰的 FWHM 明显小于 f2 峰的 FWHM，表明聚焦效果更好。