芯片制造工厂电源可分为三类即:公共电网电源、柴油发电机备用电源和 UPS 电源。国内企业通常会分别简称为:市电、E 电和 U 电。 工艺生产负荷按其对于电源可靠性要求的重要性可分为3个等级:1级关键负荷、2 级关键负荷及3级关键负荷,重要性是逐步升高的。
以下为一个半导体工厂的典型电气单线示意图(部分),为了提高工厂供电可靠性,采用2路110kV电源供电,设立一座110/10kV变电站,配置2000kW/10kV柴油发电机作为后备电源,在0.4kV侧配置500kVA UPS用于3级关键负荷和部分2级关键负荷工艺设备供电。
于电源可靠性要求的重要性可分为3个等级:1级关键负荷、2 级关键负荷及3级关键负荷,重要性是逐步升高的。
以下为一个半导体工厂的典型电气单线示意图(部分),为了提高工厂供电可靠性,采用2路110kV电源供电,设立一座110/10kV变电站,配置2000kW/10kV柴油发电机作为后备电源,在0.4kV侧配置500kVA UPS用于3级关键负荷和部分2级关键负荷工艺设备供电。
典型电气单线示意图(部分),为了提高工厂供电可靠性,采用2路110kV电源供电,设立一座110/10kV变电站,配置2000kW/10kV柴油发电机作为后备电源,在0.4kV侧配置500kVA UPS用于3级关键负荷和部分2级关键负荷工艺设备供电。