高压放大器在多波长干涉相位同步解调方法研究中的应用

　　实验名称：基于激光相位分立调制的多波长干涉相位同步解调方法研究

　　研究方向：激光测量

　　测试目的：

　　在长度测量中，绝对距离测量（ADM）可实现高精度、大范围和瞬时距离测量，与相对位移测量（RDM）相比，不需要对干涉条纹进行连续计数即可实现精密测量，广泛应用于高端装备制造、大尺寸机械零部件的检测和飞机装配等领域。多波长干涉测量法是一种最基本的，也是应用最为广泛的绝对距离测量方法，其中多波长对应干涉相位的精确解调是最为关键的问题之一。

　　测试设备：ATA-2082高压放大器、激光器、半波片、分光镜、迈克尔逊干涉仪、测量角锥棱镜、纳米定位线性平台、非接触式电容式传感器、反射镜、光电探测器。

　　图：FDM双波长干涉光路实验装置

　　实验过程：

　　以FDM双波长干涉相位同步解调方法为例，对其进行了仿真分析及实验验证。搭建了所提出的FDM双波长干涉测量光路，进行了系统稳定性实验、纳米级位移测量实验、纳米级步进非线性误差实验、两位位移解调同步性实验、动态相位解调实验。

　　由于侧重于研究多波长干涉相位解调的性能，所以采用两个自由空间的频率稳定He-Ne激光器（632.991nm，633.429nm），主要通过纳米位移测量等实验分析相位解调的精度和非线性