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文章标签：传感器

于 2021-11-23 15:55:02 首次发布

原文链接：https://www.electronicshub.org/different-types-sensors/

版权

本文详细介绍了压电加速度传感器的工作原理，包括压电效应、传感器设计结构（剪切式、压缩式、弯曲式）、特性（灵敏度、频率响应、横向灵敏度）和安装方式。还探讨了信号调理电路，如电荷放大器、高阻抗交流电压放大器和IEPE标准。此外，讨论了IEPE接口的数据采集设备，比较了电荷放大型和IEPE型传感器的优缺点，并提到了TEDS技术。内容适合于教育和工程实践。

摘要由CSDN通过智能技术生成

清华大学精密仪器系实验教学中心

2021.11.25

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xxh17@mails.tsinghua.edu.cn

（传感器知识概览）

正文，传感器是将非电学量转换为电学量的一种器件。

国防科技大学课程课件[参考网页，提取码：ze1o]

（传感器类型）

（压电加速度传感器）

压电效应

某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。当作用力的方向改变时，电荷的极性也随之改变。相反，当在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。依据电介质压电效应研制的一类传感器称为压电传感器。[参考网页]

压电加速度传感器原理

压电式加速度传感器是基于某种晶体材料的压电效应而制成的惯性传感器。传感器受振时，质量块加在压电元件上的力随之变化，当被测振动频率远低于传感器的固有频率时，这个力的变化与被测振动的加速度成正比。由于压电效应。在压电元件中便产生了与被测加速度成正比的电荷量。

【视频：工作原理[参考网页]】

传感器设计结构

[参考网页]

剪切式、压缩式、弯曲式结构。

	Shear	Compression	Bending
Advantages	Low temperature transient sensitivity Low base strain sensitivity	High sensitivity-to-mass ratio Robustness Technological advantages	Best sensitivity-to-mass ratio
Disadvantages	Lower sensitivity-to-mass ratio	High temperature transient sensitivity	Fragile Relatively high temperature transient sensitivity

压电传感器的特性

[参考网页]

灵敏度：压电式加速度传感器既可看成一个电荷源，又可以看成一个电压源，故其灵敏度也可以分别用电荷灵敏度和电压灵敏度来表示。电荷灵敏度是指单位加速度所产生的电荷量值大小，可表示为：

$S_{q}=\frac{q}{a}$

式中

$S_{q}$ ——电荷灵敏度（Pc/g）；

$q$ ——加速度传感器输出电荷（Pc）；

$a$ ——传感器所受加速度（g为重力加速度本位）。

电压灵敏度是指单位加速度所产生的电压量值大小，可表示为：

$S_{u}=\frac{U}{a}$

式中

$S_{U}$ ——电压灵敏度（mV/g）；

$U$ ——加速度传感器输出电压（mV）。

对于某一给定压电材料的压电式加速度传感器，其灵敏度随质量块的增大而增大。一般说来，加速度传感器尺寸越大，灵敏度越高，其固有频率越低。

频率响应特性：由惯性式加速度传感器的响应条件的分析可知，加速度传感器的使用频率上限取决于其共振频率。由于压电式加速度传感器的阻尼甚小（一般ξ ≤0.1），上限频率约为共振频率的30%时，幅值误差可小于10%；上限频率约为共振频率的20%时，幅值误差可小于5%；所以，压电式加速度传感器的固有频率越高，其可用的频率范围越宽。质量小的传感器，其固有频率高，则高频性能好，但由于其灵敏度低，故低频性能差；质量大的传感器则相反。振动测试时可根据实际测试要求选择。

压电式加速度传感器可测量的下限频率不取决于传感器本身，而取决于所采用测量系统的低频特性。压电元件工作时产生的电荷量是极其微弱的，而测量系统不可避免地要产生电荷泄漏，从而造成测量误差。关键是要测定这样微弱的电荷（或电压），以及如何把电荷泄漏减少到测量准确度所要求的限度以内。电压放大器实际就是一个高输入阻抗的比例放大器，其电路比较简单，但输出受连接电缆对地电容的影响，适用于一般振动测量。电荷放大器以电容作负反馈，使用中基本上不受电缆电容的影响，输入阻抗也更高，其下限截止频率更低。一般电荷放大器可达到0.01Hz数量级，最低的可达到准静态的程度。

横向灵敏度。由于压电材料本身的下均匀性与不规则性，所以当压电式加速度传感器横向受振时，也会产生一定的输出，其大小用横向灵敏度表示。一般规定，横向灵敏度不得大于主灵敏度的3%。

其他参数：最大加速度、线性度、使用温度范围、温度补偿因子、噪声和分辨率等。

安装方式

信号调理电路

（内部集成前置放大电路和接收电路）

[参考网页]

电荷输出型

带电荷输出的传感器具有一些特殊的特性，需要特别注意以获得精确的测量结果：

使用特殊的低噪声电缆
电缆长度不得超过 10 米
测量期间不应移动电缆
必须拧紧所有连接器螺母

最好使用电荷放大器，也可以使用具有高阻抗输入的交流电压放大器。下面分别介绍这两个原理。

电荷放大器

高阻抗交流电压放大器

IEPE调理电路

IEPE 兼容传感器的一个特点是电源和测量信号通过同一根电缆传输。因此，与 IEPE 兼容的换能器与带电荷输出的换能器一样，只需要一根单端屏蔽电缆。

IEPE标准

Metra 制造了许多带有内置前置放大器的加速度计。它将压电陶瓷的高阻抗电荷输出转换为低阻抗电压信号，可以远距离传输。 Metra 使用完善的 IEPE 电子加速度计标准，确保与其他制造商的设备兼容。 IEPE 代表“集成电子压电”。相同原理的其他专有名称是 ICP®、CCLD、Isotron®、Deltatron®、Piezotron® 等。

原理

内置电路由恒流源供电（见图）。该恒流源可以是仪器的一部分，也可以是单独的单元。振动信号作为调制偏置电压传输回电源。电源电流和电压输出都通过同一根同轴电缆传输，同轴电缆最长可达数百米。电容器 CC 从提供零基交流信号的仪器输入中去除传感器偏置电压。由于 IEPE 信号的输出阻抗通常为 100~300 欧姆，因此不需要特殊的低噪声传感器电缆。标准的低成本同轴电缆就足够了。

IEPE接口数据采集设备

电荷放大型和IEPE型对比

	IEPE Sensors	Charge Mode Sensors
Advantage	Fixed sensitivity regardless of cable length and cable quality Low-impedance output can be transmitted over long cables in harsh environments Inexpensive signal conditioners and cables Intrinsic self-test function Withstands better harsh conditions like dirt and humidity	No power supply required - ideal for battery powered equipment No noise, highest resolution Wide dynamic range Higher operating temperatures Smaller sensors possible
Disadvantage	Constant current excitation required (reduces battery operating hours) Inherent noise source Upper operating temperature limited to <120 °C	Limited cable length (< 10 m) Special low noise cable required Charge amplifier required