dressler电源维修LFGS-1250C射频电源维修

LFGS射频发生器是用于半导体生产和一般等离子处理的多功能射频发生器。此类可变频率发生器采用了一种半桥、D类型放大器理念，是一种空冷式紧凑型的设计，可安装在19英寸机架上面。应用包括溅射、等离子蚀刻、化学气象沉积、聚合以及表面处理设备上。

维修范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统，工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源，烘干、塑化、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源，直流偏压和硬镀膜，信息设备(ITE)及轻工业系统、镀膜设备。 从事大功率射频RF电源及匹配器维修，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP设备电源，包括直流、高压、脉冲、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射频电源维修。

测试一板上滤波电容上无380VDC电压。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，测量场效应功率开关管无V0波形，由于FA5331(PFC)为贴片元件，机器用久后出现V0端与板之间虚焊，V0信号没有送到场效应管。当滤波电容上无380VDC左右电压时，说明PFC电路没有正常工作，PFC模块关键检测脚为电源输入脚VC，启动脚Vstart/control，C/RT脚及V0脚，将V0端与板上焊点焊好，用万用表测量滤波电容有380VDC电压。当Vstart/control端为低电平时，PFC亦不能工作，则要检测其端点与外部相连的有关电路。

额定驱动频率一般都是大于负载所需要的驱动频率的。这样做虽然使电机提供足够的驱动频率，电机的正常运作，但是其中有很大一部分的驱动频率都会被浪费掉，这就造成了大量的电力能源被浪费，不能得到很好利用，不符合可持续发展的要求。为了节约电力，使电力得到充分利用的要求，电机变频控制被开发了出来，电机变频控制能够根据负载所需要的驱动频率来改变电机输出的功率和电压，不会有多余的驱动被浪费，很好的提了电能的利用率，符合减排的要求。随着我国对减排的要求越来越高，对于变频控制系统的开发和研究也不断的完善。

这个系统是一种典型的开环控制系统，这个系统能够满足大多数电机的平滑的变速要是，但是对于动态和静态的调节性能都是有限的，不能应用在对动态和静态性能要求比较严格的地方。为了实现动态和静态调节的高性能，我们只能采用闭环控制系统来实现。

所以提出了控制闭环转差频率的电机调速方式，这种调速方式能够在静态动态调速中到很高的性能，但是这种系统只能在转速比较慢的电机中得到应用，应为在电机的转速较高的时候，并且结构简单。这个系统应用在风机等大型的并且对于变频系统的动态性能要求不是很高的地方。

射频电源常见故障及维修:故障现象1:打开电源,电源指示灯不亮;故障现象2:电源灯亮了,预热灯不亮;故障现象3:电源灯亮了,预热灯亮、辉光亮,匹配器功率及反射功率电压电流达不到等。