FMCS(厂务监视管理系统说明).ppt 资源介绍
资源概述
本仓库提供的资源文件《FMCS(厂务监视管理系统说明).ppt》是一份详细的介绍资料。FMCS,全称为Facility Monitoring Control System,中文即厂务监控系统。该系统主要应用于半导体厂内制程监控,旨在实时监控厂区内特定危害因素、制程状态及系统资料。
功能与用途
- 实时监控:针对半导体厂内特定的、有危害的、影响制程状态或系统资料进行实时监控。
- 数据记录:将监控到的数据记录下来,便于问题发生时及时处理。
- 问题分析:为日后的系统问题分析提供数据支持。
文件内容
本PPT详细介绍了FMCS系统的各项功能、操作方法以及在实际应用中的优势,旨在帮助使用者更好地理解和应用该监控系统。
欢迎下载使用,希望这份资料能对您的工作和学习有所帮助。
创作声明:本文部分内容由AI辅助生成(AIGC),仅供参考