一文搞懂SECS/GEM知识点(一)

写在前面:

  • 该文档是学习指南,按照文档的章节阅读可以一步步了解Secs/Gem相关软件的架构、SecsGem的知识等等。
  • 该文档是对软件和协议的总结概括,便于读者阅读,易于理解。建议用该文档作为学习汇总笔记,软件或协议的使用官方手册作为查询手册使用。
  • 建议初学者可以按照文档的章节阅读,先了解整体框架再了解部分;对于部分的学习,建议先阅读文档了解大体知识,再查询手册了解详细内容。
  • Secs/Gem的内容比较多,将分成四篇博文讲解

概述

什么是SECS

SECS(SEMI Equipment Communication Standard)半导体设备通讯标准,用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。由SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International 国际半导体设备与材料产业协会) 制定,属于SEMI标准中的设备自动化/软件标准。

用来做什么

简单点说,SecsGem就是一种半导体设备通讯标准,定义了一些通信消息,生产设备端和控制端共同遵守这个标准用来通信,可以做到自动化下发命令,减少人力操作的目的。
以ATE行业为例,设备端(Equipment)和控制端(Host)使用SECS通信,框架图如下:
在这里插入图片描述
左侧是设备端,也就是测试机,右侧是控制端,一般我们叫Host。业务角度上,设备厂商会提供设备所支持SECS指令以及指令参数的代码,而控制端厂商一般会去适配设备。开发上,要求两方均支持SECS标准,但是为了开发方便,也可以使用一些三方软件的这类功能。

SECS模型

四个标准

SECS标准包括SECS-I、SECS-II、HSMSGEM 四个标准。其实还有一个最新国际标准EDA(Interface A) ,本文暂时不做介绍。
SECS-I 标准

  • 属于传输协议标准,描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的。
  • 传输媒质是串口,通过 RS-232通信来传送SECS-II 数据的规范。
  • SEMI E4 : SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer

HSMS 标准

  • 属于传输协议标准,描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的。
  • 使用的传输媒质是以太网,通过以太网来传送SECS-II 数据的规范。
  • SEMI E37 : High-speed SECS Message Services Generic Services0GEM,参考文档为:SEMI E37.1-96E HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES SINGLE-SESSION.pdf

SECS-II 标准

  • 属于消息格式标准,定义了在设备与主机之间进行双向会话时所使用的消息格式。
  • SEMI E5 : SEMI Equipment Communications Standard 2 Message ContentHSMS,参考文档为:SEMI E5-0301 SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT.pdf

GEM 标准

  • 属于设备功能标准,定义了通过通信链路所能看到的设备接口,指定了根据特定的消息设备所应该采取的对应的行为。说人话就是GEM在SECS-II基础上定了在哪种情况下应该使用哪些SECS-II消息以及由此产生哪些行为。
    定义设备驱动的标准,对设备工作的scenario和当时所使用的SECS-II 消息们的捆绑。
  • SEMI E30:Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment(制造设备通信和控制的通用模型),参考文档为:SEMI E30-1000 GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL.pdf

SECS模型

在这里插入图片描述

SECS-I 和 HSMS 处于模型的底层,为半导体设备通信链路层标准。SECS-I 是基于RS-232的协议,HSMS为基于TCP/IP的协议。
SECS-II协议封装了 SECS-I 和 HSMS,在它们的基础上定义了半导体设备的通信格式。
GEM则在SECS-II的基础上定义了半导体生产制造过程中的交互行为。

SECS-I

SECS-(SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer)定义了使用 RS-232 作为传输媒质时点到点的数据通信,用于串口通讯的设备,这种设备基本都是20年前的老旧设备,近些年的新设备已经不再使用此标准了。因此对于此标准的开发需求已经很少了。

HSMS

参考:一文搞懂SECS/GEM(二)

1种消息格式

2种连接模式

4种状态

5个计时器

6种消息类型

SECS-II

参考:一文搞懂SECS/GEM(三)

消息分类

消息结构

消息描述语言SML

GEM

参考:一文搞懂SECS/GEM(四)

3种状态模型

9类设备功能和场景






以上这些,基于工作经验和SECS标准手册整理而来,由问题和纰漏请多多指正,感谢~~~

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