烟气分析仪的测量原理涉及多种技术，以下是其主要测量原理的概述：

颗粒物等速采样。通过在烟道中放置采样管，并根据等速采样要求提取一定量的粉尘气体，计算颗粒物的排放浓度和总排放量。微处理器测控系统结合动压、静压、温度和湿度等参数来计算烟气流速和流量值。

湿度测量。微处理器控制传感器测量湿球和干球表面温度、湿球表面压力和烟道排气的静压，结合输入的大气压力，根据湿球表面温度自动检测温度下的饱和蒸汽压力，进而计算湿度。

含氧量测量。通过将烟气通过O2电化学传感器，检测氧气浓度，并转换空气过剩系数。