RFID技术助力半导体制造行业自动化生产

由于芯片短缺问题和近2年海运拥堵和成本上升等因素，致使全球资本对于芯片制造工厂的投入增大，而中兴、华为的例子已经凸显出国产半导体供应链的重要性，除去地缘政治上的意义，发展半导体其实是中国经济的转型的必走之路。

半导体生产是一种高度复杂的工艺，涉及数百个工序。由于尺寸特殊且非常精密，几乎无法手动生产集成电路。此外，生产对纯度、洁净度和功能性提出了严格要求。因此，半导体工厂需要高度自动化、智能互联、模块化且灵活的生产理念，物联网RFID技术推动半导体行业的自动化发展，提高芯片企业产能！

方案一：RFID在半导体行业天车设备的应用

由于12寸晶圆盒非人力能所搬动，需要用到天车设备进行搬运，将分体式低频读写器JY-V640安装在天车设备，识别FOUP的TI标签部署在行车节点，当天车设备经过是，读写器自动感应TI标签，上传至后台管理系统，系统根据指令快速调度天车设备的下一步工序路径，实现井然有序的工作。

 方案二：RFID在半导体车间AGV搬运机器人的应用

在半导体车间实现无人化运输管理，采用AGV小车进行物料运输，将RFID读写器安装在AGV小车底部，在运输轨道节点部署RFID载码体，当AGV小车经过轨道节点时，读写器自动采集载码体信息，实时掌握物料的运输情况及其往哪个生产工序运输。

 方案三：RFID半导体晶圆产线的应用

将RFID读写器部署在机械手臂，晶圆盒部署RFID载码体，当机械手臂开始工作时，读写器自动采集载码体信息，及时了解是什么产品、如何加工、何时加工，并跟踪晶圆在加工流程中的具体位置，可显著减少晶圆的供应时间，并充分减少该工序的工作量，仓储管理系统将RFID的信息与生产控制系统 (MES) 的信息关联在一起，可实时监测所有晶圆。

 方案四：RFID在半导体晶元储存柜的应用

将RFID读取器部署在储存柜承载平台支撑板下方，将RFID载码体安装至晶圆盒，当晶圆进入储存柜时，RFID读取器识别RFID载码体来监测拾放物料期间晶圆的储存位置。因此，必要时可立即找到所有储存的晶圆。

• 设备配置

1、JY-L8800 AGV RFID读卡器

2、JY-V640半导体RFID读写器

 3、JY-V610半导体RIFD读取器

• 实施效益

1，避免人为原因导致放置的高度以及数量有限，更加精准利用空间；

2，避免人工带来出错、耗时等问题；

3，可以跟踪所有的物料流；

4，及时掌握晶圆芯片的存取情况；

5，减少污染，保持晶圆洁净；

6，提升半导体行业自动化管理水平。

未经允许，禁止转载！2023-08-08