电子半导体万级洁净室的指标大全

电子半导体万级洁净室的指标大全

一、万级洁净室的标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的):

1.尘粒允许数(每立方米):大于或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个；大于或等于5微米的粒子数不得超过2000个。可使用DPC-2602 尘埃粒子计数器进行移动检测。

2.微生物允许数:浮游菌数每立方米不得超过100个；沉降菌数每培养皿不得超过3个。

二、万级洁净室主要检测标准包括：

 1.气流速度及其均匀度检测。这项检测是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。

 2.系统或房间的风量检测。

 3.室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。

 4.自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。

 5.气流流型检测。

 6.噪声的检测。

 7.照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。

 8.振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。

 9.温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。

 10.总风量和新风量的检测。

DPC-online-1A尘埃粒子计数器洁净环境在线监测系统主要用于对洁净室内的环境参数进行实时监控，并完成数据储存、管理等功能，该系统运用以太网通信技术，由服务器、路由器、工作站以及各种监控传感器组成，可实现对洁净室内洁净度、温湿度、压差、风速等参数的实时监控。DPC-online-1A洁净环境在线监测系统可广泛应用于洁净室监控、趋势分析、 室