光谱共焦位移传感器适用于哪些领域

随着工业快速的发展，对精密测量技术的要求越来越高，位移测量技术作为几何量精密测量的基础，不仅需要超高测量精度，而且需要对环境和材料的广泛适应性，并且逐步趋于实时、无损检测。与传统接触式测量方法相比，光谱共焦位移传感器具有高速度，高精度，高适应性等明显优势。

 

1、粗糙度测量

得益于纳米级精度及超好的角度特性，本同轴共焦位移传感器契合ISO25178，可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪，同轴共焦位移计以更高的速度采集粗糙度轮廓，并且对产品表面无任何损伤。

2、轮廓和3D形貌测量

集成于3D扫描系统上，本同轴共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和3D测量数据。

3、透明体厚度测量

创新的同轴共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程仅需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。

4、液位控制

优异的非接触式同轴测量，我们传感器可以检测和测量液体的水平高度。

5、在线检测

高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中，实现线上检测。

6、震动测量

由于采用超高的采样频率和超高精度,同轴传感器可以对震动物件进行测量,传感器采用的非接触设计，避免测量过程中对震动物件造成干扰，同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。

随着光谱共焦位移传感器技术的发展，必将在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量计量测试等领域得到更多的应用。