纳米表征技术

2022.9.21

SEM重点回顾

二次电子（能量低 不随原子核序数而变化），形貌相 被散射电子（受到原子序数的影响）看到成分相

如果我想用背散射电子看样品的形貌项

条件：当表面有差异，有不同的part，被散射电子才可以地貌成像

        还要被散射电子和二次电子的系数最小，电子束的中心角是九十°，整个仪器倾斜20~40°

        需要两个更多不同的sensors（检测器），提供灵活性

 我们现在要用被散射电子看形貌

原子序数越重，它应该越白（C，N，Au最白的是Au），A+B看到成分相，A-B看到形貌项

如何把电信号转换成光信号？光电倍增管，把电信号转换成光信号，我们看被散射电子

两个dector看到两个信号

A+B看到成分的差异，A-B看形貌

 A是上面的

B是下面的红色

同一个样品中不同的组分，原子相是有差异的

A-B相当于就没有了

我们今天讲扫描电子显微镜可以和其他什么电子设备级联？

环境电子显微镜

与正常扫描隧道显微镜的差异:

       多了6，7 一个给电子枪保持超真空，另一个给光路保持高压

       1. 放大本征信号（放到信号，比原来看的更加清楚），可以中和样品表面上的电子        扫描电子显微镜必须在真空条件下和导电条件下（因为表面有电子，才可以被激发），但是环境SEM可以中和电子（说明可以看绝缘体），

        2.可以保护生物样品的水分不被流失，也就是可以看生物样品（不会被打坏）

原理：二次电子在腔室里加速，和空气中的离子碰撞，产生正电荷型离子，可以去中和表面的离子(所以可以看清表面)

        如果有水的话，因为一直在饱和蒸汽压，所以水分不会丢失

如何看出是被散射电子和环境SEM？

有明暗差异，说明表面成分不一样，有凸凹，但是形貌成像不是特别清楚

聚焦离子束

区别;

        SEM的电子枪用的是电子，而离子束用的是离子（用的是正电荷的Ga（液态的金属））

        IG: Ions Gun

        EL:静电的透镜

        M: 检测器手机信号

        电子枪，阴阳极，才会有电子出来，再往下走，电磁透镜（让光束不色散开来）

电子可以和固体表面作用，离子束与电子束相似，动能的速度是表面的二次离子被激发（有正有负，也有可能有中性离子，还能有正常的二次电子）

 虽然它是一个离子束打下来，但是产生的电流非常小，说明不会破坏样品表面的形貌，

不具有破坏性，说明在非常小的电流的时候，分辨率会很高（扫描电子显微镜的分辨率 最低0.4? nm ）现在聚焦离子束分辨率可以达到5nm

现在我们把他们两个复合在一起，（激光打印的原理是一样的）用离子束来刻蚀样品表面，可以通过其他电子显微镜来查看这个过程，称为层析技术（可以对我的材料进行修正）

我只要加大电流，就可以刻蚀样品表面

我向往他生面长一层，那我肯定要一层一层沉积（FIB 既可以刻蚀又可以沉积）

这就是一个综合性的技术，里面有FIB ，EDS(Energy 能量色散的谱)，下面的是扫描电镜

 需要记住FIB用来刻蚀样品，沉积样品表面........

考试重点；聚焦离子束的应用，能干嘛，分辨率......

 扫描电子显微镜一般是看表面的第一个步骤，

扫面电子显微镜 Main use: ......

 能量X射线，被表面吸收之后，产生特征X射线

电子束和样品互相作用，我们主要讨论电子束激发样品的X射线，来得到我们的EDX

电子打到样品表面，会产生各种各样的电子，但是在EDX里面，我们需要知道黄色区域所产生的特征X射线

 核外电子按照轨道排列的，不是无序排列的

核外电子排布分为K,L,M,N 

紫色显示的是L层的离子化，绿的就是K shell的 离子化

Cu的核外电子排布示意图：

X射线如何产生？

电子从低能级跃迁到高能级，高能级不稳定，向下的时候，会往外发出射线（eg 特征X射线） 

只要有原子序数定了，那么我们可以发出的射线就是定的

从不同能级向下跳就会产生不同的射线

不同的原子序数有不同的特征曲线？

量特征曲线的dector 称作 

 降低热对它的干扰

检测器收集之后，看到这样的图像

特征出来的位置说明含有什么样的元素。

里面含有Ba，Mn..... 这是一个多金属复合的材料

A-B的线，对用的是下面的成分分析，就是这一条线从A走到B的时候，成分信息如下图所示

 

 X射线代表分布，有才会产生，没有就不会产生，这是一个3D的mapping，用来看组成成分，成分分布

 两者的填充气体不一样，一种是甲烷等，另一种是Xe，如果我想看到更广的，可以参杂在一起 ，

WDS和EDS的差异：

WDS是用波长来计算的，另一个是energy来计算的

上一幅图是典型的WDS谱，非常明显的是WDS比EDS分辨率高，性能更好

 EDS的用处：

 WDS没有mapping，EDS能分辨的是B~U，更低或者更高的都不行

 阴极荧光

 是半导体，电子和空穴会进行分离，是电子和bandgap相互作用之后，出来的就是阴极荧光

 

 半导体在激发下产生电子和空穴，上面那个是导带有电子，下面的是价带，有空穴，那么是怎么作用的？

电子从上面回到下面的时候，放出的能量，就相当于是bandgap

N，电子在上面多 P 空穴在下面多

辐射跃迁，非辐射跃迁

为什么只有在bandgap有的情况下才可以看到阴极萤光？

阴极荧光是怎么收集的？

椭球形的收集器，在椭球形的一个焦点上，（LP 位于焦点），电子束作用在焦点上，通过LP(Light Pipe) 反映到SM（spectrometer）上

 这是一个典型的椭球形形状，CS指的是cooling stages，椭球形的大罩子用来收集阴极萤光

 EDS是有元素性质的，阴极萤光没有species 限制

化学键显示 sometimes

EXD使用来看绝缘体的，阴极荧光是用来看半导体的

 电子探针微分析仪（整合了之前所有的技术）

用来看样品形貌，样品分析

 

 左边的是SE，右边那个是BSE

左边能够清楚地看到孔（有白，灰，黑），右边那个有鲜明的黑灰（所以是被散射电子 在5000v电压下）

是相同的样品，在不同的电压以及放大倍率下得到的电子成像

左边是SE,右边是BSE

左边图：这个是一个带褶皱的薄膜，左下角还有表示以及其他信息课程回顾

课程回顾

 扫描电子显微镜就是用来看样品形貌，分辨率可达0.4nm

当你的电子束达到样品表面是，产生各种各样的电子

二次电子，被散射电子是如何成像的

被散射电子是用来呈现原子相，通过原子序数差异，得到明暗，只有黑灰

被散射电子也可以看到形貌相，两个detcor，A+B得到原子相，A-B得到的就是形貌相（还需要样品表面上有差异）

扫描电子显微镜条件：（1）真空（有四点原因）（2）看必须导电的材料（金属，氧化物等）

不导电可以喷涂喷涂导电材料

ESEM和SEM的差异，和SEM基本一致，上面多了一个6，下面多了一个7，这样就可以测绝缘体，生物样品（希望尽可能优化条件，扩大条件）

下面说的这些用来干嘛？

看到形貌之后，要进行分析？

由什么物质组成，又是什么比例

聚焦离子束（可以刻出不同的形貌，还可以沉积,这个叫层析技术）

当SEM和聚焦离子束结合的时候，可以在调控的同时，看到形貌

EDS,WDS 差异在于一个是能量，一个是波长，WDS比EDS高一些，但是EDS我可以看mapping