多级罗茨泵设计

多级罗茨泵是一种容积式无油真空泵，具有结构简单、振动噪音小、可靠性高、抽气特性好等优越性能，由于这个原因，国内外许多微电子工业部门广泛地采用这种真空泵。在我国尽管有些单位在研究这种真空泵，但还是没有产品，仍然是空白。为了满足我国开发研究生产这种泵的需要，本文对罗茨真空泵的啮合理论和冷却系统进行了深入的研究与探讨。

本文首先详细分析了罗茨泵的啮合理论，并在此基础上推倒出了计算泵极限真空度的公式，用Turbo C编程验证了其正确性。 在推倒泵极限压力的同时，还计算除了各级泵的压缩比，并最终求得泵的零流量压缩比。在研究其啮合理论之后得到了很多重要的结论。

另外，还进一步详细研究了罗茨泵水冷系统的设计。在水冷系统的研究中，详细阐述了水冷系统的作用及具体设计，分析水冷系统的作用，根据泵的冷却要求最终算出了冷却水的耗量。
 

当今，全球在化干泵上发展的很快。这种泵性能好，优点多，值得研究开发。但是，我国在这方面发展的不算太快，为了促进化干泵在国内的开发利用，我们参考了美国的斯托克斯化干泵和日本的株式真空泵，并结合如今市场的需要，尝试设计了一台抽速200L/S的四级三叶直排大气式的罗茨真空泵。

    设计中，对三叶罗茨泵的原理作了简要概述。转子型线是罗茨泵的核心，本次设计从泵的性能抽速方面考虑，采用了容积利用系数最大的内外圆弧加摆线型转子。在泵的设计计算中详细讨论了三叶转子的啮合情况，并具体计算了泵的各级压缩比、总体压缩比，最终推导出该泵的极限真空度。专题部分分析了泵的散热情况、冷却形式及冷却系统。由于该泵是从极限真空度直排大气，泵的总体压缩比较高，压缩过程中产生的热量，传到泵体和转子上，使得转子和泵体的膨胀，可能造成转子与泵体的接触摩擦，影响泵的运转抽气过程，严重的可能造成转子在泵腔内卡死，使泵不能正常工作。因此在设计中我们采用了水冷系统。在水冷系统设计中，计算了泵的压缩气体温度，并最终得出了冷却水消耗量，冷却系统更加完善。