金刚石线切割机的设计

本文对金刚石线切割机进行了深入的研究。在理论上探讨了单晶硅各异性材料特性对电镀金刚石线切割硅晶片过程影响。分析了锯丝沿不同的晶面、晶向锯切对晶片的影响规律，并推荐了首选的锯丝切入方向。研究发现，在确定的工艺参数下，当锯丝切入方向使锯切两边材料的弹性模量分布关于锯丝切入方向呈对称性时，可有效地提高晶片面形质量。锯丝切入方向与被锯切晶面内的易开裂方向一致时，可有减少晶片表面破碎。

本课题主要对切割机导轨平台、工件夹具、缠绕筒及切割线张力调整装置的结构设计。通过搜集相关文献资料，了解本课题国内外研究动态，确定设计研究方案；完成金刚石线切割机滚珠丝杠、螺母、步进电动机、螺母等相关零部件及装配图的设计；完成相关零部件设计说明书及其图纸。
 

1 绪 论

1.1 研究背景和意义

1.1.1 研究背景

1.1.2 研究意义

1.2 国内外研究现状及发展趋势

1.3 设计内容

2 金刚石线切割机的设计方案

2.1 有关首选参数

2.2 切割机特点

2.3 金刚石线切割机设计方案

2.3.1 原理分析和总体结构设计

2.3.2 传动系统和工作台的设计

2.3.3 张力调整装置设计

3 金刚石线切割机传动设计

3.1 滚珠丝杆的选择与计算

3.1.1 滚珠丝杆的定义

3.1.2 滚珠丝杆副间隙调整法

3.1.3 滚珠丝杆的循环方式

3.1.4 滚珠丝杆的计算

3.1.5 滚珠丝杆安装方式

3.2步进电动机的选择

3.3张紧轮设计

3.4绕线轮的设计

3.5二维夹具的设计

结 论

参考文献

致 谢