差分光子发射分析:原理、实践与未来展望
1. 测量技术与设备准备
在进行相关研究时,首先需要获取被测设备(DUT)的发射图像以进行空间定位。获取合适发射图像所需的时间从几秒到数分钟不等,这主要取决于电源电压、晶体管的开关频率以及衬底厚度。
为了对DUT上特定的感兴趣点进行时间分辨测量,采用了InGaAs - APD。它能检测波长大于1μm的光子,因此无需对衬底进行减薄处理。APD工作在门控盖革模式下,以减轻技术固有的噪声。其测量过程类似于采样示波器,是一个逐步的过程:
1. 在每个信号循环周期中,探测器仅在极短的时间窗口内变得灵敏。
2. 在这些检测窗口内的检测事件会在相应的时间区间内进行计数。
3. 当足够多的信号周期产生了足够多的计数事件以克服残余噪声时,检测窗口相对于信号进行移动,然后重复上述过程,直到信号被完全重建。
为了实现这种检测方案,使用了一个基于FPGA的控制器,该控制器与DUT时钟锁相。当DUT执行目标程序代码时,锁相的FPGA对APD检测窗口进行数字延迟和触发,检测事件被发送回FPGA并进行计数。为了大幅减少测量时间,FPGA在每个信号循环中触发数百个门控,从而实现交错测量。
2. 被测设备(DUT)
为了进行概念验证,在常见的微控制器ATmega328P上实现了软件AES。芯片的准备过程如下:
1. 使用标准的自动背面样品制备机对芯片进行处理,将衬底减薄至约50μm,这大大减少了获取发射图像所需的曝光时间。如果已知发射点的位置,且硅对InGaAs探测器是透明的,那么这一步甚至可以省略,只需使用标准的手持旋转工具移除IC封装即可。
2. 将处理好的芯片反向焊接到定制印
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