北京北成新控伺服技术

1、 转台：负载220kg，直径1600mm，交流伺服电机+行星减速机无法满足安装空间和精度要求，选用了SHA65A产品，减速比为1:161，输出转矩为3419Nm，满足了晶片转台大惯量匹配及快速定位需求，中空结构可放置气管和线缆，扁平机身降低安装空间和设备重心；4、 FHA-40C产品应用于清洗的提拉翻转机构，减速比为1：100，输出转矩为690Nm，小体积高功率密度降低安装空间需求。2、 磨头：选用了RSF-32A产品，集成高分辨率编码器和1:50减速机，使输出端转速波动小，运行平稳，提高了研磨精度；