太赫兹时域光谱技术：多层涂层测厚的革命性突破

多层涂层在各种工业领域有着广泛的应用，如防腐、绝缘、装饰等。对于多层涂层的厚度测量，传统的方法如机械接触式测量和X射线荧光光谱法等存在效率低、对样品有损伤等问题。而太赫兹时域光谱技术作为一种非接触、非破坏性的测量技术，具有较高的测量精度和效率，成为当前研究的热点。本期主要介绍中国矿业大学范孟豹教授课题组在太赫兹多层涂层测厚方面研究成果。

方法与原理

范孟豹教授课题组提出了一种基于太赫兹时域光谱技术的多层涂层测厚方法。首先，通过改进标准Kent混沌映射和教与学优化算法，实现多层涂层厚度的快速可靠测量。具体流程如下：

基于改进的标准Kent混沌映射，生成初始种群，提高种群多样性；

通过步长调节优化和次优个体优化，改进教与学优化算法的寻优精度和效率；

将改进的算法与太赫兹波测量多层涂层厚度的理论模型结合，建立涂层厚度求解方法；

开展太赫兹无损检测实验，对多层涂层样件进行测量；

通过改进的算法对测量信号进行解析，计算多层涂层的厚度、折射率和消光系数等参数。

图一：单层模型中THz波传播示意图

图二：多层结构推导等效反射系数示意图

图三：标准 Kent与改进的 Kent混沌映射遍历性比较

研究结果与分析

为了验证方法的有效性，范孟豹教授课题组制备了多层涂层样件，并进行了太赫兹无损检测实验。研究结果表明：建立的涂层厚度求解方法相比于全局最优算法的效率提高了1倍，单次仅需50秒左右便可快速得到多层涂层的厚度、折射率和消光系数。测量所得的多层涂层厚度的相对误差在1.5%以内，且标准差最大不超过1.7μm。基于太赫兹测量信号，所提方法可以高效、准确及可靠地计算多层涂层的厚度。这一方法在工业生产和科学研究领域具有广泛的应用前景。

图四：多层样品示意图。(a)单层纸固定在金属基板上;(b)双层纸固定在金属基板上

图五：热障涂层。(a)顶层涂层的表面形貌;(b)结构示意图;(c)电子显微镜图

图六：三种算法下样品1与2的厚度结果

结论

中国矿业大学范孟豹教授课题组提出了一种基于太赫兹时域光谱技术的多层涂层测厚方法。通过改进标准Kent混沌映射和教与学优化算法，实现了多层涂层厚度的快速可靠测量。研究结果表明，该方法具有较高的测量精度和效率，为多层涂层的无损检测提供了新的技术手段。未来我们将进一步优化算法性能，提高测量精度和效率，为工业生产和科学研究领域提供更加可靠的测量方法。

参考文献

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