薄膜电阻和厚膜电阻

	厚膜电阻	薄膜电阻
工艺	丝网印刷法，在陶瓷基底上贴一层钯化银电极，然后在电极之间印刷一层二氧化钌作为电阻体。	真空蒸镀、磁控溅射、负蚀刻法 用蒸发的方法将一定电阻率材料蒸镀于绝缘材料表面制成。 绝缘基板，在绝缘基板上通过非光刻法形成导体图案层，在导体图案层和绝缘基板上形成薄膜电阻层；通过光刻对薄膜电阻层进行图案化。
精度	10%、5%、1%，0.5%	0.01%、0.1%
膜厚	一般大于10μm	小于1μm
温度系数	一般较大	低，5PPM/℃，10PPM/℃等