半导体行业-SECS/GEM协议,C#编写secs-gem 所需SxFy

已于 2023-12-29 10:06:31 修改
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于 2023-12-29 09:59:05 首次发布
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SECS/GEM和GEM300作为SEMI标准的一部分，分别是针对200毫米和300毫米晶圆制造的标准规范。特别是GEM300这标准协议，涉及到自动化加工，是FAB厂必不可少的东西。

SECS/GEM标准主要包含协议：E4、E5、E30、E37

300毫米标准GEM300包含标准：E4、E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、E94、E116

近俩年12寸的晶圆厂建设比例逐年上升，国内对12寸的设备需求度越来越多，然而12寸设备必须要支持GEM300标准。

半导体设备要想支持GEM300标准存在一些挑战。特别是没有做过300mm晶圆设备的开发或者做过GEM300，与现有SECS/GEM标准相比，300mm标准困难度提高许多。

经过十多年发展，国内SECS/GEM和GEM300也已经跟国际的效果做到一样了。

作为代表性的SECS/GEM和GEM300， 金南瓜的GEM300及其GEM200备受瞩目。

金南瓜GEM300基于GEM200基础之上，增加了对300mm制程场景的支持。GEM200的设备无需做任何修改基础，只需增加GEM300的处理，完美SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94等多项标准，内部集成管理Carrier、Substrate、Control Job、Process Job等对象。

Stream    Function    Message Name    Description
Sx    F0    Abort Transaction    H <--> E
S1    F1    Are You There Request    H <--> E
S1    F2    On Line Data    H <--> E
S1    F3    Selected Equipment

最低0.47元/天 解锁文章
semij
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secs/gem协议是一种广泛应用于半导体设备的通信协议。其全名为"SEMI Equipment Communications Standards/Generic Equipment Model"，被SEMI（半导体设备与材料国际协会）制定和推行。 secs/gem协议旨在建立设备与上层系统之间的可靠、高效的通信连接，为设备控制与数据交换提供标准化的接口。通过该协议，设备之间可以实现统一的数据格式和通信规则，使得不同厂商的设备能够互相通信和协作。 secs/gem协议采用了基于主从结构的通信方式，设备被定义为"设备连接台"（Equipment Connection），上层系统被定义为"工作站"（Host Station）。设备连接台和工作站之间通过网络进行通信，其中包括了控制命令和数据的传输。 secs/gem协议定义了一系列的消息类型和通信规则，如数据收发、设备状态报告、告警、事件等。通过这些消息类型，设备能够向工作站发送实时数据、设备状态变化、故障信息等，工作站则可以向设备发送控制指令、参数设置等。 secs/gem协议的优点在于其标准化和通用性。通过使用该协议，设备供应商和设备用户可以避免定制化的通信接口和软件开发，提高设备之间的兼容性和互操作性。同时，secs/gem协议的规范和标准化也为设备的维护和远程监控提供了方便。 总而言之，secs/gem协议是半导体设备间通信的标准协议，它提供了一套通用的数据格式和通信规则，使得设备之间能够进行可靠、高效的数据交换和控制命令传输。该协议为半导体设备行业的发展和设备间的互联互通提供了重要支持。

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