本文介绍了基于波长调谐和时域傅里叶变换技术的多平面检测（MST）方法，用于解决光学元件面形检测中的多表面干涉问题。通过设置不同测试腔长，利用FFT算法提取相位信息，实现对多个平行表面的独立测量。此外，还详述了波长调谐两步绝对测量法在测量光学均匀性中的应用和操作步骤。
作者：song
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1. 简介
在实际工程中，光学元件面形检测使用的最主要的方法是移相干涉法。但是在实际操作中，测量平行平晶类光学元件时，将发生多表面干涉的现象，假如使用传统的硬件移相（PZT）算法计算多表面干涉将不能得到准确的被测表面面形信息。目前，常用的消除多表面干涉的方法是在待测光学件后表面涂抹折射率匹配的凡士林或消光漆，以达到抑制待测光学元件后表面的反射的影响。
采用基于波长移相调谐的原理，针对不同厚度下的平行平晶设置不同的测试腔长，使待测平行平晶前后面反射波前形成的干涉条纹强度变化频率可以在频率区分开来，就可以使用快速傅里叶变换（FFT）算法从多表面干涉条纹中提取出前后表面的相位信息，进而通过计算得到待测表面的面形信息。
多表面测量激光干涉仪提供了一个前所未有的崭新的测量方式和能力，传统的激光干涉仪应用是测量两个面的波前变化，也就是说测量一个由两个面所形
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