Keithley6517B吉时利6514静电计/高阻表

Keithley6517B吉时利6514静电计/高阻表

Keithley吉时利6514静电计/高阻表

 主要特点:

电阻测量可达1018 Ω
电流测量范围10aA - 20mA
小电流量程输入端压降<20μV
200TΩ 输入阻抗
<3fA 偏置电流
测试速率高达425 rdgs/s
噪声0.75fA p-p
内置±1kV电压源
*的高电阻测量电压反接方法
可选的插件式扫描卡
出众的性能指标

半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低 电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅 0.75fA p-p (峰-峰) ，输入端压降<20μV。对于 接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入 阻抗是200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确 度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力，从而简化漏流测试、击穿电压测试 和电阻测试，以及绝缘材料的体电阻率(Ω-cm) 及表面电阻率(Ω/square) 的测量。

测量范围宽

6517B型静电计/高阻表具有全自动量程，超过电流、电阻、电压和电荷测量满量程：
• 电流测量范围：10aA - 20mA
• 电压测量范围：1μV - 200V
• 电阻测量范围：1Ω - 1018Ω
• 电荷测量范围：1fC - 2μC

改进的高灵敏度测量

许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率（面电阻率和体电阻率）。传统测 量方法是对样本施加足够高的电压，测量流经样本的电流，然后利用欧姆定律(R=V /I)计算其电阻。虽然高阻材料和器件产生很小的电流，很难准确进行测量，但利用 吉时利静电计和皮安计则可以成功地进行这种测量。

即使利用高精度仪器，材料中固有的背景电流使得进行准确测量较为 困难。由于压电效应、电容效应和偏振效应，绝缘材料、聚合物和塑料通 常都显示出背景电流。这些背景电流一般等于或大于施加电压产生的电流。 在这些情况下，其测量结果往往是不稳定的，生成不准确的电阻或电阻率 读数甚至错误的负值。吉时利6517B型静电计/高阻表旨在解决这些问题， 并为各种材料和元件提供一致、可重复和准确的测量，特别是与8009型电 阻测试夹具一起使用时。

变换极性法

6517B型静电计/高阻表使用变换电极法，实际上消除了样本的背景电 流。并剔除背景电流的一级和第二级漂移。变换电极法施加一个正极性 电压，然后在延迟（测量时间）后测量电流。接着，改变电压极性， 使用相同的延迟，重新测量电流。连续重复这个过程，并根据4个电 流测量结果的加权平均值计算出电阻。对大多数材料来说，通过7次反转(即 舍弃前三个读数)，这个方法通常生成可高度重复、准确的电阻（或电阻 率）测量结果。例如，利用8009型测试夹具0.3%的重复度，可对1mm厚 的1014Ω-cm材料样本进行测量，在15秒测试周期内其背景电流低于200fA。